考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器

发布时间：2019-04-21 06:17

【摘要】：提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器,传感器由微压力传感和温度传感两部分构成,其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能,根据带阻滤波器的模式在所处温度下线性红移,分别计算相应的温度值和该温度下的压力值,并通过热光效应和热膨胀效应计算出温度对器件材料折射率的影响,从而得到真实的微压力。文中对结构参数进行了优化设计,实现了1.33nm/μN的微压力灵敏度。
[Abstract]:A photonic crystal-based micro-pressure sensor based on photonic crystal is proposed. The sensor is composed of two parts: micro-pressure sensor and temperature sensor, in which the micro-pressure sensor is used to measure the pressure value in the temperature environment. Both sensors use the coupling of waveguide and cavity to realize band-stop filtering function. According to the linear red-shift of the mode of band-stop filter at the same temperature, the corresponding temperature value and the pressure value at this temperature are calculated, respectively. The effect of temperature on the refractive index of the material is calculated by thermal-optic effect and thermal expansion effect, and the real micro-pressure is obtained. The structure parameters are optimized and the micro pressure sensitivity of 1.33nm/ 渭 N is realized.
【作者单位】： 南京邮电大学电子科学与工程学院;
【基金】：江苏省自然科学基金项目(BK20160909,20130874) 江苏省研究生创新项目(YLX_0801,SJLX15_0376) 江苏省高校教育基金项目(JB510025) 南京邮电大学校内项目(NY214051,215084)
【分类号】：TP212

【相似文献】

相关期刊论文 前10条

1 姚智慧,张付祥;机器人六维力传感器研究概况及发展预测[J];广东自动化与信息工程;2002年03期

2 涛;;0.04级精密力传感器[J];仪器仪表通讯;1973年02期

3 高建树;机电误差互补法在力传感器中的应用[J];传感器技术;2000年04期

4 程卫东,董永贵,冯冠平;石英谐振力传感器加载机构理论及实验[J];辽宁工程技术大学学报(自然科学版);2000年01期

5 程卫东 ,董永贵,冯冠平;石英谐振力传感器加载机构理论及实验[J];辽宁工程技术大学学报(自然科学版);2000年02期

6 朱超甫,李元,陈虎平,宋惠改;多个力传感器的共同测试技术[J];传感器世界;2001年05期

7 沈久珩;大力测量技术的新进展——附着式超轻型大力传感器[J];中国工程科学;2001年10期

8 张小龙,张为公;轮力传感器及其在汽车道路试验中的应用[J];仪表技术与传感器;2005年01期

9 王志刚,李振加,曲国军;一种新型轨道二维力传感器的研究[J];黑龙江工程学院学报;2005年02期

10 尹瑞多,王宣银,程佳,李强;广义六维力传感器的特点及研究和应用状况[J];液压与气动;2005年10期

相关会议论文 前10条

1 沈久珩;;大力测量技术的新进展——附着式大力传感器[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展（下册）[C];1999年

2 高建树;;机电误差互补法在力传感器中的应用[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年

3 杨敏;申飞;;一种大量程六维力传感器标定方法[A];第22届全国结构工程学术会议论文集第Ⅰ册[C];2013年

4 闫荣格;杨庆新;樊长在;陈海燕;刘福贵;;超磁致伸缩力传感器的研究[A];2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑[C];2005年

5 陈乐;宋爱国;;三维力传感器的设计[A];2008年江苏省计量测试学术论文集[C];2008年

6 赵玉虎;林明;张鸣雷;蒲浩;吴文凯;;力传感器在离心机平衡检测与保护系统中的应用[A];四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集[C];2005年

7 叶璇;李喜德;;变刚度后屈曲式微力传感器的数值模拟与设计[A];北京力学会第20届学术年会论文集[C];2014年

8 刘意杨;王越超;于鹏;席宁;董再励;;亚μN微力传感器信号处理及标定方法的研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（1）[C];2008年

9 汪恩清;丁世敬;;YML型锚索力传感器环境防护技术[A];1998电子产品防护技术研讨会论文集[C];1998年

10 崔岩;佟建华;董维杰;王立鼎;;基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年

，

本文编号：2461920