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二维光电自准直仪中分划板研究

发布时间:2020-07-05 14:18
【摘要】:根据二维光电自准直仪的工作原理和结构特点,针对V形分划板、N形分划板和M形分划板在线阵CCD器件增维测量中的作用原理进行了研究,得出其在增维测量中的优点和缺点,为不同应用条件的二维光电自准直仪选用分划板提供了参考依据。
【图文】:

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嘈耐枷翊鐚矸椒ㄏ嘟岷夏芄坏玫讲煌嘈慕嵌确?辨率,对测量范围也有较大影响,因此,选择什么形状的分划板对光电自准直仪很重要。目前常见的用于二维测量的分划板有十字分划板、V形分划板、N形分划板、M形分划板等。本文针对各类分划板在线阵CCD器件增维测量中的作用原理进行了研究,为二维光电自准直仪选用分划板提供了参考依据。1光电自准直仪原理光电自准直仪是以自准直原理为基础[3],通过光学器件的组合,用CCD等测微系统对被测件进行角度位移的精收稿日期:2016—10—26密测定仪器[2],原理示意图如图1所示。图1自准直仪光学原理图Fig1Autocollimatoropticalprinciplediagram当光源发出光线照明位于物镜焦平面上的分划板,o点在物镜光轴上,那么由它发出的光线通过物镜后,成一束与光轴平行的平行光束射向反射镜,当反射镜面垂直于光轴时,光线仍然按原路返回,经物镜后仍成像在分划板上o处,与原目标重合。当反射镜面与光轴不垂直,而是有小偏转角度α,当平行光轴的光线射向反射镜时,光线按反射定律与原光线成2θ返回,通过物镜后成像在分划板上的O1处,与原目标不重合而有X的位移量。根据三角关系可推算出θ=12arctan(x/f)(1)式中θ为反射镜偏转角,x为光斑回像位移,f为物镜焦24

示意图,分划板,测量原理


信号处理电路都要做2套,仪器结构复杂,仪器成本也随之提高,且2套处理系统的一致性也是影响测量精度的一个不可避免的因素[6]。这样的方法在高精度的测量中并不可取,但是由于其方法简单,数据处理方便,在低精度的测量中得到比较多的应用。3通过分划板的选择完成增维测量在小角度高精度要求的自准直仪中,可以选用以下几种分划板,即可实现用1片线阵CCD器件测量二维位移。以下将对几种分划板的实现方式和优缺点进行探讨。3.1采用V形分划板实现二维测量V形分划板在线阵CCD上实现二维测量的原理如图2所示。图2V形分划板测量原理图Fig2Vshapeofreticlemeasurementprinciplediagram设y轴为CCD线阵,其垂线设为x轴,当V形分划板的中心位于坐标原点时为初始参考位置,此时与CCD的交点分别为A,B,∠ACO=∠BCO=α,AO=BO=d,设S点为线阵CCD零位,令SA为固定值1。当被测物反射面在x轴方向发生角度偏转θx时,V形在x坐标平面上发生位移Δx,当被测物反射面在y轴方向发生角度偏转θy时,V形在y坐标平面上发生位移Δy,V形与CCD线阵y轴新的交点为A',B'。由O做y轴的垂线OG',显然OG'即为V形在x轴上的偏移量Δx。由三角关系式可以得出Δx=AB-A'B'2tanαΔy=SA-{SA'(2)由式(1)得出,偏转角θx=12arctan(Δx/f),偏转角θy=12arctan(Δy/f),从而完成二维测量。这种V形分划板具有测量范围小的缺点。为了使自准直仪在x方向和y方向具有相等的测量范围,如图3所示,需要x=y,即α=45°,因此,需要将V形分划板的V形夹角2α设定为90°,同时也使得测量范围只能达到CCD感光面的1/2。图3V形分划板测量范围示意图Fig3Vshapeofreticlemeasurementrangediagram本文设计的自准直仪测量范围x?

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本文编号:2742714

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