有机场效应晶体管气体传感器制备工艺的研究
本文关键词:有机场效应晶体管气体传感器制备工艺的研究,由笔耕文化传播整理发布。
【摘要】:有机场效应晶体管(Organic Field Effect Transistor)气体传感器作为近年来广受人们关注的一种新型的气体传感器,具有体积小、制备工艺简单、集成度高等优点备受人们的青睐。酞菁铜有机半导体材料较其他材料更具优良的热稳定性与化学稳定性,并有还具备出色的气敏特性,因此很多研究都落在了将其应用于气体传感器上。本文以酞菁铜作为有机半导体材料,开展了对有机场效应晶体管气体传感器的制备工艺及应用的基础研究。主要内容如下:制备了叉指电极结构的酞菁铜有机场效应晶体管气体传感器,对制备过程进行详细的描述,并通过对酞菁铜薄膜进行280℃、300℃和320℃的退火处理比较器件之间的性能差异。采用牺牲层技术制备具有空气绝缘层结构的有机场效应晶体管气体传感器,并且最终确定了空气绝缘层有机场效应晶体管气体传感器的制备工艺条件。采用叉指电极结构和空气绝缘层结构的有机场效应晶体管分别对NO2气体进行测试,并将两种不同结构器件的测试结果进行对比。
【关键词】:气体传感器 有机场效应晶体管 酞菁铜 空气绝缘层
【学位授予单位】:黑龙江大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2016
【分类号】:TN386;TP212
【目录】:
- 中文摘要3-4
- Abstract4-7
- 第一章 绪论7-14
- 1.1 引言7-8
- 1.2 有机场效应晶体管气体传感器的研究现状8-12
- 1.2.1 有机场效应晶体管8
- 1.2.2 有机场效应晶体管国外研究进展8-11
- 1.2.3 有机场效应晶体管国内研究进展11-12
- 1.3 论文的选题及主要的研究工作12-14
- 第二章 有机场效应晶体管的工作原理和制备工艺14-23
- 2.1 有机场效应晶体管14-19
- 2.1.1 有机场效应晶体管简介14-15
- 2.1.2 有机场效应晶体管的工作原理15-16
- 2.1.3 有机场效应晶体管的基本参数16-18
- 2.1.4 有机场效应晶体管的制备材料的选择18-19
- 2.2 有机场效应晶体管气体传感器19-21
- 2.2.1 气体传感器常用参数19-20
- 2.2.2 有机场效应晶体管气体传感器的工作原理20-21
- 2.3 测试系统的建立21-22
- 2.4 本章小结22-23
- 第三章 有机场效应晶体管气体传感器的制备23-43
- 3.1 有机场效应晶体管气体传感器的制备过程23-32
- 3.1.1 衬底的选择23
- 3.1.2 绝缘层的制备23-24
- 3.1.3 电极的制备24-28
- 3.1.4 有机半导体层材料的制备28-32
- 3.1.5 对器件进行封装32
- 3.2 空气绝缘层结构有机场效应晶体管气体传感器的制备过程32-42
- 3.2.1 衬底的选择33-34
- 3.2.2 电极的制备34
- 3.2.3 牺牲层的制备34-39
- 3.2.4 有源层的制备39-40
- 3.2.5 源漏电极的制备40-41
- 3.2.6 悬空结构的释放41-42
- 3.2.7 器件的封装42
- 3.3 本章小结42-43
- 第四章 有机场效应晶体管气体传感器的电学特性以及气敏特性的研究43-52
- 4.1 有机场效应晶体管气体传感器的性能分析43-48
- 4.1.1 叉指电极结构CuPc场效应晶体管的电学特性研究43-46
- 4.1.2 空气绝缘层结构CuPc场效应晶体管的电学特性研究46-48
- 4.2 Cu Pc场效应晶体管气体传感器的气敏特性研究48-51
- 4.2.1 相同浓度NO_2中CuPc OFET气敏特性48-49
- 4.2.2 不同浓度NO_2中空气绝缘层结构CuPc OFET气敏特性研究49-51
- 4.3 本章小结51-52
- 第五章 结论52-54
- 参考文献54-60
- 致谢60-61
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10 易惠中;国外半导体气体传感器的发展概况[J];电子元件与材料;1986年03期
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1 党恒耀;赵进宣;郭兴敏;;气体传感器在工业中的应用[A];2010年全国冶金物理化学学术会议专辑(下册)[C];2010年
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6 刘志军;;矿用气体传感器校验装置[A];中国计量协会冶金分会2009年年会论文集[C];2009年
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本文关键词:有机场效应晶体管气体传感器制备工艺的研究,,由笔耕文化传播整理发布。
本文编号:300794
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