基于氮化铝压电薄膜的声表面波（SAW）高温力学传感器研究

发布时间：2024-01-18 17:24

　　力学传感器是将各种力学参量转换为电信号的器件。应用于高温极端环境下测量的高温力学传感器,尤其是高温压力传感器和高温应变传感器,在航空航天、石油化工、武器装备以及汽车能源等领域发挥着巨大作用。长久以来,世界各国都很重视高温力学传感器的研发工作,在这一传感器领域投入了大量的人力和物力。目前,我国在高温力学传感器领域的研究仍比较落后,高端高温力学传感器主要依赖进口,国产传感器只占据中低端市场,更无法满足众多高温现场愈加苛刻的温度要求。因此,加速开发高端高温力学传感器,对促进国民经济发展、打破国外行业垄断,意义重大。声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)传感器具有体积小、精度高、可无源无线的特点,长期受到人们的关注,符合未来传感器技术的发展趋势。随着氮化铝(AlN)压电薄膜和硅酸镓镧(LGS)压电单晶等耐高温压电材料被开发出来,基于这些材料的声表面波高温传感器技术也展现出巨大的前景。本论文针对声表面波高温力学传感器研究中的科学和技术问题,基于耐高温的氮化铝压电薄膜材料,研发了拥有多个声波模态和更高测试灵敏度、可用多种方案实现温度补偿和力学参量测量的声表面波高温应变传感器...

【文章页数】：134 页

【学位级别】：博士

本文编号：3879707