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101. MEMS振荡器的频率稳定技术研究

102. 太赫兹倍频及MEMS滤波技术研究

103. 基于MEMS技术的纳米孔研究及其应用

104. MEMS陀螺中16位数模转换器设计

105. MEMS垂直探针的设计和加工技术研究

106. MEMS惯性/地磁组合测姿技术研究

107. MEMS惯性测量单元测试标定方法研究

108. 室内BLE/MEMS跨楼层融合定位算法

109. 反铁电式MEMS薄膜驱动器研究

110. 一种集成数字化MEMS组件设计

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