一种集成数字化MEMS组件设计

发布时间：2021-06-23 00:03

　　随着微机电惯性器件（MEMS）精度和性能的不断提高,以及惯性、组合导航算法的不断创新和改进,MEMS系统的精度和性能得到逐步的提升,获得越来越广泛的应用。文章主要研究内容为从工程实际出发,重点研究某型用于飞行控制系统的MEMS组件的高度集成化、一体化、小型化设计方法;该组件可提供数字化三轴角速率、加速度及姿态信息,优化了数字信号处理,进行数字滤波器设计,实现带宽配置,开展了MEMS组件动态特性试验,建立相应传递函数模型,试验证明组件满足高精度、高动态特性的使用需求。 

【文章来源】：科技创新与应用. 2020,(11)

【文章页数】：3 页

【部分图文】：

测试架构

频率响应结果图


本文编号：3243801