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141. MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

142. MEMS角振动陀螺的结构建模与仿真分析

143. MEMS压阻式压力传感器技术研究

144. 用于三维成像激光雷达的MEMS扫描镜研究

145. 微热板气体传感器的MEMS工艺研究

146. 基于智能手机MEMS的行人定位方法实证研究

147. 电热式MEMS微镜驱动控制技术研究

148. 基于MEMS陀螺仪姿态检测系统研制

149. MEMS陀螺仪随机序列趋势项提取算法

150. 一种MEMS压电大位移驱动器设计分析

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