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171. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

172. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

173. MEMS可重构带通滤波器设计

174. 基于MEMS组件的行人导航系统关键技术研究

175. 基于电容式MEMS器件的静电斥力驱动研究

176. MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统设计

177. 基于FPGA的MEMS航姿测量系统设计

178. MEMS微机械结构受冲击力学分析

179. 压电式MEMS一维矢量水声传感器研究

180. MEMS惯性测量单元全参数标定方法研究

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