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563. 基于MEMS可调电容和电感器的可调谐天线研究

564. 基于MEMS技术二维磁场/压力传感器单片集成化研究

565. 基于MEMS惯性测量单元的多功能稳定平台关键技术研究

566. 面向5G通信应用的射频MEMS开关设计与制造关键技术研究

567. 基于增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研究

568. 基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试

569. 青岛大学MEM专业学位研究生培养模式调查研究

570. MEMS加速度计的1/f噪声分析及滤波技术研究

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