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561. 基于MEMS可调电容和电感器的可调谐天线研究
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562. 基于MEMS技术二维磁场/压力传感器单片集成化研究
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563. 基于MEMS惯性测量单元的多功能稳定平台关键技术研究
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564. 面向5G通信应用的射频MEMS开关设计与制造关键技术研究
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565. 基于增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研究
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566. 基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试
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567. 青岛大学MEM专业学位研究生培养模式调查研究
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568. MEMS加速度计的1/f噪声分析及滤波技术研究
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569. 基于MEMS标矢量一体化水听器的浮标系统设计
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570. 基于MEMS传感器/WiFi组合的室内人员定位技术研究
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