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641. 基于MEMS的近红外光谱仪控制方法研究与开发
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642. 基于MEMS技术磁场/压力/加速度传感器集成化研究
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643. 激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究
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644. 基于MEMS技术的薄膜换能元及其电爆性能研究
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645. 旋转弹用免驱动三轴MEMS陀螺角速率提取算法研究
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646. 基于MEMS的四旋翼飞行器姿态估计与控制系统研究
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647. 基于SOI的三轴MEMS微加速度计的设计与工艺研究
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648. Galfenol/金刚石MEMS磁传感器的制备及性能研究
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649. MEMS加速度传感器全差分读出电路的分析与设计
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650. 基于MEMS陀螺仪的车身位姿稳定性控制研究
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