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62. MEMS集成复合磁芯双层平面电感研究

63. RF MEMS器件及其集成技术研究

64. 子弹引信MEMS安全系统设计与仿真

65. BDS/MEMS融合测姿算法研究

66. MEMS数字陀螺仪测试系统设计

67. 基于阵列技术的MEMS虚拟陀螺技术研究

68. 太赫兹体硅MEMS多层波纹喇叭天线

69. MEMS电热驱动器的设计与分析

70. 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究