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61. RF MEMS器件及其集成技术研究

62. 子弹引信MEMS安全系统设计与仿真

63. 基于阵列技术的MEMS虚拟陀螺技术研究

64. 太赫兹体硅MEMS多层波纹喇叭天线

65. MEMS电热驱动器的设计与分析

66. 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究

67. 基于MEMS技术的三维无线运动控制研究

68. MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究

69. 基于MEMS微型发动机的装药选择

70. MEMS涂层接触问题的有限元分析