基于XRD的超精密加工表面/亚表面损伤表征技术
发布时间：2021-03-10 20:12
KDP晶体是惯性约束核聚变工程中不可或缺的光学元件,因其激光损伤阈值较理论值相差过大,而显著地影响了其在工程应用中的性能。迄今为止,一个普遍为相关学者所接受的观点是超精密加工所引起的表面/亚表面损伤乃是影响KDP晶体激光损伤阈值的主要因素之一。若要提高KDP晶体的激光损伤阈值,则需减少超精密加工表面/亚表面损伤,其最基础的部分就是对损伤进行有效表征。因此,本文以超精密加工表面/亚表面损伤表征为核心目的,以非破坏性检测方法为基本手段,探索在选定方法下的超精密加工表面/亚表面损伤的表征技术,为超精密加工质量的进一步提高奠定基础。本文选用的检测方法为共面掠入射的X射线衍射（XRD）,其通常被用来研究薄膜晶体材料,将其用在超精密加工表面/亚表面损伤检测领域是一个创新性的应用。因此,本文首先根据晶体衍射理论对超精密加工晶体材料的共面掠入射衍射进行理论研究,分别研究了理想单晶体、缺陷晶体的共面掠入射衍射。其中,缺陷晶体的结构变化是以晶面的变化为特征的,主要包含晶面的间距变化、位向变化（扭转、倾转）。其次,采用共面掠入射衍射方法对KDP的超精密加工表面/亚表面结构进行检测与分析,验证了本文提出的相关...
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：74 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
KDP晶体理想外形及实物图
图 1-3 磁流变抛光方法的原理示意图恒定化学蚀刻速率法：如果保持腐蚀液浓度、环境温度恒定，则定性因素包括：试样与所用腐蚀液的作用面积、材料表面化学势面损伤会在一定程度上加大与腐蚀液的作用面积，因而具有较大的基体部分的结构相似，腐蚀液与试样材料的作用面积恒定，因
线切割的截面显微结果
【参考文献】：
期刊论文
[1]神光-Ⅲ主机装置成功实现60TW/180kJ三倍频激光输出[J]. 郑万国,魏晓峰,朱启华,景峰,胡东霞,张小民,粟敬钦,郑奎兴,王成程,袁晓东,周海,陈波,王健,马平,许乔,杨李茗,代万俊,周维,王方,许党朋,谢旭东,冯斌,彭志涛,郭良福,陈远斌,张雄军,刘兰琴,林东晖,党钊,向勇,陈晓东,张维岩. 强激光与粒子束. 2016(01)
[2]光学元件亚表面缺陷的损伤性检测方法[J]. 王洪祥,李成福,朱本温,王景贺. 强激光与粒子束. 2014(12)
[3]光学材料亚表面损伤表征方法研究[J]. 崔舒,刘成有,汉语,徐井华,张勇. 通化师范学院学报. 2013(12)
[4]KDP晶体塑性域切削技术研究[J]. 葛继强,陈金明,吉方,刘兴宝. 现代制造工程. 2013(07)
[5]KDP晶体的研究进展[J]. 王圣来,丁建旭. 人工晶体学报. 2012(S1)
[6]XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度[J]. 贾仁需,张玉明,张义门,郭辉. 光谱学与光谱分析. 2010(07)
[7]磁流变抛光消除磨削亚表面损伤层新工艺[J]. 石峰,戴一帆,彭小强,王卓. 光学精密工程. 2010(01)
[8]KDP晶体力学参数测试与分析[J]. 张强勇,刘德军,王圣来,张宁,牟晓明,孙云. 人工晶体学报. 2009(06)
[9]薄膜材料研究中的XRD技术[J]. 周元俊,谢自力,张荣,刘斌,李弋,张曾,傅德颐,修向前,韩平,顾书林,郑有炓. 微纳电子技术. 2009(02)
[10]采用高分辨XRD对m面GaN位错特性的研究[J]. 宋黎红,谢自力,张荣,刘斌,李弋,傅德颐,张曾,崔影超,修向前,韩平,施毅,郑有炓. 半导体技术. 2008(S1)
博士论文
[1]KDP晶体单点金刚石车削关键技术研究[D]. 铁贵鹏.国防科学技术大学 2013
[2]KDP晶体力学性能与开裂现象研究[D]. 孙云.山东大学 2012
[3]单晶硅片超精密磨削加工表面层损伤的研究[D]. 张银霞.大连理工大学 2006
硕士论文
[1]单晶硅超精密切削仿真与实验研究[D]. 朱帮迎.哈尔滨工业大学 2015
[2]光学元件磨抛加工亚表面损伤分析与检测技术研究[D]. 吴沿鹏.厦门大学 2014
[3]基于神光组件光机装校基准传递体系的研究[D]. 康世发.西安工业大学 2014
[4]KDP晶体缺陷对应力分布的影响[D]. 袁方方.山东大学 2012
[5]光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究[D]. 高平.南京航空航天大学 2012
[6]X射线残余应力的测量技术与应用研究[D]. 刘金艳.北京工业大学 2009
[7]CZT晶体加工表面/亚表面损伤研究[D]. 郎艳菊.大连理工大学 2008
[8]KDP晶体不同加工表面损伤检测与损伤机理分析[D]. 王奔.大连理工大学 2008
[9]KDP晶体磨削加工表层损伤的检测与分析[D]. 曹先锁.大连理工大学 2007
[10]KDP晶体微纳表层缺陷对其激光损伤阈值影响的研究[D]. 刘新艳.哈尔滨工业大学 2007
本文编号：3075219
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：74 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
KDP晶体理想外形及实物图
图 1-3 磁流变抛光方法的原理示意图恒定化学蚀刻速率法：如果保持腐蚀液浓度、环境温度恒定，则定性因素包括：试样与所用腐蚀液的作用面积、材料表面化学势面损伤会在一定程度上加大与腐蚀液的作用面积，因而具有较大的基体部分的结构相似，腐蚀液与试样材料的作用面积恒定，因
线切割的截面显微结果
【参考文献】：
期刊论文
[1]神光-Ⅲ主机装置成功实现60TW/180kJ三倍频激光输出[J]. 郑万国,魏晓峰,朱启华,景峰,胡东霞,张小民,粟敬钦,郑奎兴,王成程,袁晓东,周海,陈波,王健,马平,许乔,杨李茗,代万俊,周维,王方,许党朋,谢旭东,冯斌,彭志涛,郭良福,陈远斌,张雄军,刘兰琴,林东晖,党钊,向勇,陈晓东,张维岩. 强激光与粒子束. 2016(01)
[2]光学元件亚表面缺陷的损伤性检测方法[J]. 王洪祥,李成福,朱本温,王景贺. 强激光与粒子束. 2014(12)
[3]光学材料亚表面损伤表征方法研究[J]. 崔舒,刘成有,汉语,徐井华,张勇. 通化师范学院学报. 2013(12)
[4]KDP晶体塑性域切削技术研究[J]. 葛继强,陈金明,吉方,刘兴宝. 现代制造工程. 2013(07)
[5]KDP晶体的研究进展[J]. 王圣来,丁建旭. 人工晶体学报. 2012(S1)
[6]XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度[J]. 贾仁需,张玉明,张义门,郭辉. 光谱学与光谱分析. 2010(07)
[7]磁流变抛光消除磨削亚表面损伤层新工艺[J]. 石峰,戴一帆,彭小强,王卓. 光学精密工程. 2010(01)
[8]KDP晶体力学参数测试与分析[J]. 张强勇,刘德军,王圣来,张宁,牟晓明,孙云. 人工晶体学报. 2009(06)
[9]薄膜材料研究中的XRD技术[J]. 周元俊,谢自力,张荣,刘斌,李弋,张曾,傅德颐,修向前,韩平,顾书林,郑有炓. 微纳电子技术. 2009(02)
[10]采用高分辨XRD对m面GaN位错特性的研究[J]. 宋黎红,谢自力,张荣,刘斌,李弋,傅德颐,张曾,崔影超,修向前,韩平,施毅,郑有炓. 半导体技术. 2008(S1)
博士论文
[1]KDP晶体单点金刚石车削关键技术研究[D]. 铁贵鹏.国防科学技术大学 2013
[2]KDP晶体力学性能与开裂现象研究[D]. 孙云.山东大学 2012
[3]单晶硅片超精密磨削加工表面层损伤的研究[D]. 张银霞.大连理工大学 2006
硕士论文
[1]单晶硅超精密切削仿真与实验研究[D]. 朱帮迎.哈尔滨工业大学 2015
[2]光学元件磨抛加工亚表面损伤分析与检测技术研究[D]. 吴沿鹏.厦门大学 2014
[3]基于神光组件光机装校基准传递体系的研究[D]. 康世发.西安工业大学 2014
[4]KDP晶体缺陷对应力分布的影响[D]. 袁方方.山东大学 2012
[5]光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究[D]. 高平.南京航空航天大学 2012
[6]X射线残余应力的测量技术与应用研究[D]. 刘金艳.北京工业大学 2009
[7]CZT晶体加工表面/亚表面损伤研究[D]. 郎艳菊.大连理工大学 2008
[8]KDP晶体不同加工表面损伤检测与损伤机理分析[D]. 王奔.大连理工大学 2008
[9]KDP晶体磨削加工表层损伤的检测与分析[D]. 曹先锁.大连理工大学 2007
[10]KDP晶体微纳表层缺陷对其激光损伤阈值影响的研究[D]. 刘新艳.哈尔滨工业大学 2007
本文编号：3075219
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