管式PECVD设备反应室结构的优化设计与数值仿真研究

发布时间：2022-05-02 19:09

　　根据管式PECVD设备反应室的环形进气方式和平面进气方式建立了几何模型,并进行了三维流场数值仿真分析,然后根据仿真结果对反应室结构进行了优化设计。数值仿真对PECVD设备反应室结构的优化设计及工艺调试具有重要的指导意义。 

【文章页数】：5 页

【文章目录】：
0 引言
1 反应室结构
2 建立仿真模型
    2.1 模型简化
    2.2 参数设置
    2.3 流场仿真结果对比分析
3 反应室结构优化设计
    3.1 尾端端面法兰进气结构优化
    3.2 反应室前端结构优化
    3.3 结构优化后的效果
4 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]PECVD腔室热流场数值仿真研究[J]. 夏焕雄,向东,牟鹏,姜崴,葛研,王丽丹.  人工晶体学报. 2012(04)
[2]生产型管式PECVD设备[J]. 宋玲,刘恺,杨彬,陈必雄.  电子工业专用设备. 2005(11)
[3]PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究[J]. 王晓泉,汪雷,席珍强,徐进,崔灿,杨德仁.  太阳能学报. 2004(03)



本文编号：3649783