阴极等离子源对太阳选择性吸收涂层金属基材表面清洁的研究

发布时间：2024-01-30 20:48

　　为改善太阳选择性吸收涂层基材镀膜前的清洁状态及增加基材表面的活性,本文研发了一种利用电磁场压缩原理而具有汇聚作用的新型等离子源,使太阳选择性吸收涂层基材在镀膜前,被含有氧成分的高能等离子电子束轰击,使基材表面碳氢化合物转化为易挥发的二氧化碳,再由真空泵抽走,起到清洁基材及增加表面活性的功能。

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【部分图文】：

图2磁场压缩实验示意图

SOLARENERGY11/201861的束缚作用，配合电磁场压缩作用，制造出一种阴极等离子源，并且该阴极等离子源的工作压强可在10-4～10-3Torr(1Torr=133.322Pa)之间，其放电电压在100V左右。2实验过程为使太阳选择性吸收涂层获得更好的膜层结合力，本文主....

图5阴极等离子源装置示意图ERGY11/201862

，有向两边散射趋势，该趋势可理解为辉光线路上获得了密度更高的电子，而放电电压开始逐渐下降。由此可见，在不改变真空环境的条件下，放电条件得到改善。当L1在50～60mm时，此时被压缩进入磁场范围内的电子增多，原有在阴极附近的辉光完全消失，出现两条明显向外发射的辉光，且辉光较为稳定。....

图6阴极等离子源辉光效果图由表3可知，在该实验中，当L1<30mm时，由于屏蔽罩板已经切入阴极磁感线范围，阻断了电子沿磁感线方向的螺旋运动轨迹

SEM形貌进行分析。未做真空阴极等离子源电子束轰击清洁的太阳选择性吸收涂层的铝质基材及其SEM形貌图如图7所示，其表面存在大量的大颗粒物质，切面结构明显粗糙。采用真空阴极等离子源电子束轰击清洁的太阳选择性吸收涂层的铝质基材及其SEM形貌图如图8所示，其表面大颗粒物质明显减少，切面....

图7未经过真空阴极等离子源轰击清洁的基材及其SEM图a.未经过真空阴极等离子源b.SEM图轰击清洁的基材3放电最为容易，可获得较大放电电流，同时获得高汇聚的高能等离子源电子束

本文编号：3890372