TFT-LCD制造行业VOCs排放特征及减排效果

发布时间：2024-03-30 14:20

　　为掌握和了解TFT-LCD行业生产过程中,各工艺环节挥发性有机物(VOCs)的排放特征,以国内某TFT-LCD制造公司为例,研究了各生产车间的VOCs浓度分布。结果表明:阵列生产车间VOCs均值浓度最高,波动范围为4.14～11.19×10^-6(1～12月);彩膜(CF)生产车间光刻胶成分比较复杂,绿胶产线VOCs均值浓度最高,为4.6～14.50×10^-6(1～12月);阵列和CF车间VCD区域,VOCs浓度最高;降低TFT-LCD生产车间VOCs的浓度关键在于源头控制,投加沸石转轮吸附设备对生产车间VOCs浓度的降低具有很明显的作用,可以去除大约60.71%～71.33%的有机废气。

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【部分图文】：

图1TFT-LCD生产工艺和有机废气产污环节

TFT-LCD工业流程主要包括阵列、彩膜、成盒、模组4部分，如图1所示。阵列生产厂房负责阵列基板的生产包括玻璃基板清洗、PECVD、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工序；彩色滤光片是TFT-LCD的重要组成部分，其基本结构由玻璃基板（GlassSubstrate）、黑色矩阵（Black....

图2阵列、彩膜、成盒工艺产线VOCs检测点位分布。

在TFT-LCD工业生产过程中，挥发性有机物主要来源于光刻胶和PI液的使用产线、如阵列车间的涂胶（Track）线，彩膜车间的涂布设备线和成盒的PI液喷涂线，故检测点位主要设置在这些产线上，如图2所示。阵列车间涂胶线使用的光刻胶成分主要是PGMEA，根据工艺结构，每条线设置4个检测....

图3工艺产线VOCs浓度分布（1～12月）

为分析阵列、彩膜、成盒工艺生产车间每条产线VOCs的浓度分布情况，分别对3个车间中其中一条线1～12月份的浓度进行监测，结果如图3所示。研究表明，阵列和CF车间产线4个点位浓度分布情况几乎一致，VCD抽压区（A4、B4)VOCs浓度最高，VOCs浓度分布趋势为A4>A3>A2>A....

图3工艺产线VOCs浓度分布（1～12月）

图3工艺产线VOCs浓度分布（1～12月）4.2工艺生产车间VOCs浓度分布

本文编号：3942475