高灵敏度平面型InGaAs短波红外探测器应用基础研究
发布时间：2021-09-06 20:08
InxGa1-xAs是应用于短波红外波段探测的优良材料,在空间遥感领域有着重要的应用价值。本论文针对高灵敏度探测的应用需求,围绕平面型InxGa1-xAs探测器的关键工艺及相关物理机制开展了研究。研究了晶格匹配InGaAs探测器和延伸波长InGaAs探测器的p电极欧姆接触及温度特性;分析了真空环境热处理对SiNx膜钝化性能的影响,优化了扩散杂质激活热处理参数,并进行了不同周长面积比（P/A）器件、32×32和512×256元面阵探测器验证,分析了激活热处理对面阵探测器暗电流、探测率等性能以及大面阵焦平面探测器均匀性的影响,并利用优化的工艺制备了高性能的1024×128元InGaAs焦平面;优化了平面型延伸波长InGaAs探测器的扩散工艺参数,并进行了不同P/A测试结构器件验证,利用激光诱导电流谱（LBIC）获得了延伸波长探测器材料的少子扩散长度,并分析了平面型延伸波长InGaAs探测器的暗电流机制。研究了晶格匹配平面型InGaAs探测器电极接触及温度特性,在480?C、30s退火条件下,Au与p+-InP室温下的比接触电...
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所)上海市
【文章页数】：141 页
【学位级别】：博士
【图文】：
1海平面大气对红外光的透射
图 1.2.1 夜空光谱辐射亮度曲线Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky图 1.2.2 可见相机与短波相机的对比照arison of pictures taken with a visible camera and a SWIR catime应用于短波红外探测的晶体材料主要集中在 II-VI II-VI 族的 HgCdTe、PbS 和 PbSe 等；III-V 族的 I 1.2.3 给出了不同红外材料的探测特性[20]，对于窄
与可见光和热带谱相比，短波红外成像具有独特的优势，如，它基本上是由宽带反射光源形成图像，很容易为观察者理光相机光窗、透镜和膜层的材料大部分可以应用于短波红外见光能够更好地透过雾霾进行观察，如图 1.2.2 所示[19]。因此成像在空间遥感、医学、工业及军事领域有着广泛的应用前图 1.2.1 夜空光谱辐射亮度曲线Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky
【参考文献】：
期刊论文
[1]退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用[J]. 邓洪海,魏鹏,朱耀明,李淘,夏辉,邵秀梅,李雪,缪国庆,张永刚,龚海梅. 红外与激光工程. 2012(02)
[2]基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器[J]. 朱耀明,李永富,李雪,唐恒敬,邵秀梅,陈郁,邓洪海,魏鹏,张永刚,龚海梅. 红外与毫米波学报. 2012(01)
[3]台面型InP/InGaAs PIN光伏探测器的p-InP低阻欧姆接触[J]. 魏鹏,朱耀明,邓洪海,唐恒敬,李雪,张永刚,龚海梅. 红外与激光工程. 2011(12)
[4]平面型24元InGaAs短波红外探测器[J]. 邵秀梅,李淘,邓洪海,程吉凤,陈郁,唐恒敬,李雪. 红外技术. 2011(09)
[5]空间遥感用近红外InGaAs焦平面组件（英文）[J]. 龚海梅,唐恒敬,李雪,张可锋,李永富,李淘,宁锦华,汪洋,缪国庆,宋航,张永刚,方家熊. 红外与激光工程. 2009(04)
[6]InGaAs探测器制备的ICP刻蚀方法研究[J]. 宁锦华,唐恒敬,张可锋,李淘,李永富,李雪,龚海梅. 激光与红外. 2009(04)
[7]LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区[J]. 吕衍秋,乔辉,韩冰,唐恒敬,吴小利,李雪,龚海梅. 红外与激光工程. 2007(05)
[8]不同结构的碲镉汞长波光伏探测器的暗电流研究[J]. 叶振华,胡晓宁,张海燕,廖清君,李言谨,何力. 红外与毫米波学报. 2004(02)
[9]InP/InGaAs（P）材料中的低温开管Zn扩散[J]. 李维旦,潘慧珍. 电子科学学刊. 1987(06)
博士论文
[1]可见拓展的短波红外InGaAs探测器研究[D]. 杨波.中国科学院研究生院（上海技术物理研究所） 2014
本文编号：3388095
【文章来源】：中国科学院大学(中国科学院上海技术物理研究所)上海市
【文章页数】：141 页
【学位级别】：博士
【图文】：
1海平面大气对红外光的透射
图 1.2.1 夜空光谱辐射亮度曲线Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky图 1.2.2 可见相机与短波相机的对比照arison of pictures taken with a visible camera and a SWIR catime应用于短波红外探测的晶体材料主要集中在 II-VI II-VI 族的 HgCdTe、PbS 和 PbSe 等；III-V 族的 I 1.2.3 给出了不同红外材料的探测特性[20]，对于窄
与可见光和热带谱相比，短波红外成像具有独特的优势，如，它基本上是由宽带反射光源形成图像，很容易为观察者理光相机光窗、透镜和膜层的材料大部分可以应用于短波红外见光能够更好地透过雾霾进行观察，如图 1.2.2 所示[19]。因此成像在空间遥感、医学、工业及军事领域有着广泛的应用前图 1.2.1 夜空光谱辐射亮度曲线Fig.1.2.1 The curve of radiance spectrum in night sky
【参考文献】：
期刊论文
[1]退火对Zn扩散的影响及其在InGaAs探测器中的应用[J]. 邓洪海,魏鹏,朱耀明,李淘,夏辉,邵秀梅,李雪,缪国庆,张永刚,龚海梅. 红外与激光工程. 2012(02)
[2]基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器[J]. 朱耀明,李永富,李雪,唐恒敬,邵秀梅,陈郁,邓洪海,魏鹏,张永刚,龚海梅. 红外与毫米波学报. 2012(01)
[3]台面型InP/InGaAs PIN光伏探测器的p-InP低阻欧姆接触[J]. 魏鹏,朱耀明,邓洪海,唐恒敬,李雪,张永刚,龚海梅. 红外与激光工程. 2011(12)
[4]平面型24元InGaAs短波红外探测器[J]. 邵秀梅,李淘,邓洪海,程吉凤,陈郁,唐恒敬,李雪. 红外技术. 2011(09)
[5]空间遥感用近红外InGaAs焦平面组件（英文）[J]. 龚海梅,唐恒敬,李雪,张可锋,李永富,李淘,宁锦华,汪洋,缪国庆,宋航,张永刚,方家熊. 红外与激光工程. 2009(04)
[6]InGaAs探测器制备的ICP刻蚀方法研究[J]. 宁锦华,唐恒敬,张可锋,李淘,李永富,李雪,龚海梅. 激光与红外. 2009(04)
[7]LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区[J]. 吕衍秋,乔辉,韩冰,唐恒敬,吴小利,李雪,龚海梅. 红外与激光工程. 2007(05)
[8]不同结构的碲镉汞长波光伏探测器的暗电流研究[J]. 叶振华,胡晓宁,张海燕,廖清君,李言谨,何力. 红外与毫米波学报. 2004(02)
[9]InP/InGaAs（P）材料中的低温开管Zn扩散[J]. 李维旦,潘慧珍. 电子科学学刊. 1987(06)
博士论文
[1]可见拓展的短波红外InGaAs探测器研究[D]. 杨波.中国科学院研究生院（上海技术物理研究所） 2014
本文编号：3388095
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