半导体生产含砷废水处理技术的研究与应用

发布时间：2024-02-23 07:32

　　本论文以砷化镓半导体生产加工含砷废水处理工程为依托,综合分析了目前国内外含砷废水处理技术的发展现状和趋势,结合半导体生产加工含砷废水的实际情况,通过试验研究,明确了基于氯化铁混凝沉淀的除砷方法适合于本含砷废水的除砷处理。根据处理要求和现场条件,最终确定了以水量水质调节+两级氯化铁混凝沉淀+砂滤为主体技术的工艺路线,随后通过施工图设计、工程建设、工艺调试和成本效益分析,完成了砷化镓半导体生产加工含砷废水处理工程的建设和试运行,取得了良好的效果,最终出水平均砷含量可被稳定地控制在0.02mg/L以下。 通过分析对比氯化钙、聚合氯化铝和氯化铁对于该含砷废水的处理效果,确定了氯化铁混凝沉淀的处理方案。试验研究发现氯化铁混凝沉淀单级处理在满足出水达标的前提下,由于泥渣产生量过大和污泥沉降时间过长,实际操作可行性较差；与单级处理相比,一级处理侧重于污泥沉降、二级处理侧重于出水达标的两级处理可显著减少氯化铁的用量和泥渣的产生,使工艺的操作性得到了较大的改善。 为增加工程运行的灵活性和可靠性,工艺采用序批式运行方式。通过工艺设计计算、工程材料选择、设备确定,完成了部分工艺专业的施工图设计,同时对电气专...

【文章页数】：83 页

【学位级别】：硕士

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摘要
Abstract
目录
第一章 绪论
    1.1 课题背景
    1.2 砷的化学性质及分布
    1.3 砷化镓半导体生产废水
    1.4 含砷废水处理方法
    1.5 课题概况
第二章 试验研究
    2.1 试验仪器设备与试剂
    2.2 分析方法
    2.3 试验用水
    2.4 试验路线分析
    2.5 试验结果与分析
    2.6 氯化铁混凝原理分析
    2.7 工艺路线确定
第三章 工程设计
    3.1 设计资料
    3.2 工艺流程
    3.3 工艺设计
    3.4. 电气设计
    3.5 自动化设计
    3.6 设计总结
第四章 工程建设
    4.1 工程建设依据
    4.2 施工组织及部署
    4.3 施工准备
    4.4 施工进度
    4.5 工程施工
    4.6 施工总结
第五章 调试
    5.1 控制系统调试
    5.2 设备调试
    5.3 工艺调试
    5.4 调试总结
第六章 成本效益分析
    6.1 工程建设费用分析
    6.2 运行成本分析
    6.3 环境及社会效益
第七章 结论与展望
    7.1 结论
    7.2 展望
参考文献
附录 施工图
攻读硕士期间的科研成果
致谢



本文编号：3907276