非蒸散型吸气剂在微型溅射离子泵中的应用

发布时间：2021-12-23 05:22

　　高可靠长寿命小型超高真空密封器件已在很多重要领域得到广泛应用,微型离子泵成为其运行的保障。对于不允许高温烘烤去气的小型真空器件,储存一段时间后由于累积出气导致气压超过微型离子泵的启动压强,而使整个器件报废。在超高真空下的离子泵抽气有局限性,有待提高。本课题正是在这样的背景下,研究吸气剂与微型离子泵复合的方案,使器件压强保持在较低的水平下,从而保障了微型离子泵的有效启动,避免真空密闭器件的报废,提高其极限真空性能。本论文研究了由微型溅射离子泵和非蒸散型吸气剂集成的微型离子/非蒸散型吸气剂复合泵。选用意大利SAES公司的非蒸散型吸气剂ST172,可低温激活并适合于在器件封口后不再暴露大气的条件下长期应用。研究了ST172在不同温度下的激活效果,针对器件的特殊材料特性设计了吸气剂的激活工艺,并且制作出相应的激活设备,解决了激活过程可能对器件造成损坏的问题。测试了吸气剂对密闭器件的存储特性的改善,考察了吸气剂对于微型复合离子泵的抽速和极限真空的提高。研究了不同气载下非蒸散型吸气剂对离子泵启动特性的影响,得到启动过程中的气压、电压和电流曲线。实验测得吸气剂出气对复合泵离子流-压强关系的影响,给出... 

【文章来源】：清华大学北京市 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：79 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

溅射离子泵的基本结构示意图

微型单筒溅射离子泵（无磁屏蔽壳）剖面示意图：(a)纵向；（b）横向；

气剂材料的不断发展，非蒸散型吸气剂（NEG）得到对氢很强的抽除性能使得人们可以将吸气剂组件与溅合泵，提高抽气性能。下图所示就是美国 VARIAN 公复合溅射离子泵[20][21]。

【参考文献】：
期刊论文
[1]微型复合溅射离子泵的设计研究[J]. 胡银富,齐京,陈旭.  真空科学与技术学报. 2007(01)
[2]微型溅射离子泵性能测试[J]. 梅国强,齐京,陈旭,朱秀珍.  真空科学与技术学报. 2005(06)
[3]国产溅射离子泵主要性能测试及现状[J]. 赵飞云,殷立新,殷明,周洪军,王勇,王秋平.  真空. 2004(06)
[4]非蒸散型吸气剂（NEG）的性能特点和实际应用问题[J]. 蒋迪奎,陈丽萍.  真空. 2004(04)
[5]10-10Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵[J]. 蒋迪奎,陈丽萍,殷立新.  真空科学与技术学报. 2004(03)
[6]超灵敏度质谱检漏实验的新结果[J]. 陈娉,陈旭,金奇计,查良镇.  真空. 2003(03)
[7]热阴极与冷阴极电离规计量学特性比较研究[J]. 李得天.  真空与低温. 2003(02)
[8]微型溅射离子泵在X射线管制造中的应用[J]. 杨美民,盛久山.  真空电子技术. 2002(06)
[9]大吸气量新型吸氢材料的研究[J]. 景怀宇,秦光荣,康志君,尉秀英.  稀有金属. 2002(04)
[10]兰州重离子加速器前束线真空系统改造[J]. 周利娟,吴德忠,胡振军.  真空与低温. 2002(02)



本文编号：3547867