大规模集成电路制造洁净厂房消防设计
[Abstract]:Based on the case of fire control design and daily operation of the clean workshop for large-scale integrated circuit manufacturing in recent years, combined with the relevant domestic and international standards, This paper probes into some key points in the fire protection design of the clean workshop of large-scale integrated circuit manufacturing, and gives the corresponding suggested design methods and bases, including the determination of the fire hazard grade, the fire resistance grade and the fire prevention zone. The design requirements of automatic fire alarm system, automatic fire extinguishing system, mechanical smoke exhaust system and other special equipment fire protection, etc., and the key points needing special attention.
【作者单位】: 中芯国际集成电路制造有限公司;
【分类号】:TU892;TU274
【参考文献】
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【共引文献】
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本文编号:2339097
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