主动减振系统传感单元设计与分析

发布时间：2023-04-06 17:46

　　随着超精密加工设备精度的不断提高，对加工环境的要求也越发苛刻，对振动的要求便是其中非常重要的一项。相比于传统的被动隔振方式，主动隔振方式能够获得更宽的隔振频带，且能够克服被动隔振无法同时对地面振动和负载振动进行良好隔离的劣势。而传感单元是主动减振实现其功能的重要组成部分，对其进行深入的研究有重要的理论和实用意义。 本文从主动减振系统的工作原理出发，提出了对传感单元的功能要求，在此基础上设计并分析了传感单元的总体实现方案，对其中将要采用的非接触位移传感器、绝对速度传感器进行了选型比较，确定了所选传感器的型号及性能指标，完成了传感单元总体方案的设计。 建立了速度传感器的动态模型，从机械结构及外部噪声等方面分析了其低频检测的限制因素。阐述了对速度传感器进行软件低频补偿的原理，并应用不同的方法设计了补偿器，对比了这几种方法的时域仿真结果，针对其中两种可行的方法作了详细介绍，从时域结果及频域结果比较了两者的补偿效果，为实际应用中选择合适的方法进行速度传感器的软件补偿提供了理论依据。 分析了位移传感器的标定原理，通过最小二乘拟合方法，完成了对位移传感器及温度传感器的标定。阐述了实测速度传感器传递函...

【文章页数】：60 页

【学位级别】：硕士

【文章目录】：
摘要
Abstract
1 绪论
    1.1 课题来源
    1.2 课题目的及意义
    1.3 主动减振系统传感技术研究现状
    1.4 虚拟仪器技术
    1.5 本文主要内容及研究路线
2 传感单元总体方案设计与分析
    2.1 方案设计与分析
    2.2 位移传感器选型分析
    2.3 速度传感器选型分析
    2.4 温度传感器选型分析
    2.5 本章小结
3 速度传感器动态补偿
    3.1 速度传感器建模及补偿原理
    3.2 补偿器设计方法分析
    3.3 FLANN 算法补偿器设计
    3.4 设计方法比较
    3.5 本章小结
4 传感器标定与分析
    4.1 位移传感器标定
    4.2 速度传感器传递函数辨识
    4.3 温度传感器标定
    4.4 本章小结
5 全文总结与展望
    5.1 全文总结
    5.2 展望
参考文献
致谢
附录 1 攻读学位期间发表学术论文目录



本文编号：3784129