多层金刚石薄膜的制备研究

发布时间：2017-10-17 15:32

  本文关键词：多层金刚石薄膜的制备研究

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【摘要】：利用微波等离子体化学气相沉积法,以H_2/CH_4/CO_2为混合气源,在Si基底上分别沉积了单层微米、纳米以及三层(膜层结构为微米层(MCD)/纳米层(NCD)/微米层(MCD))金刚石薄膜。利用Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)表征金刚石膜,以得到样品质量、表面形貌、晶粒尺寸等信息。结果表明:微米金刚石晶薄膜粒粗大,表面粗糙,纳米金刚石薄膜晶粒细小,表面平整,生长过程中控制反应参数,可以制备出多层金刚石膜,三层结构的引入,可以明显降低表面粗糙度。
【作者单位】： 武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;中国科学院等离子体物理研究所;
【关键词】： 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜
【基金】：国家自然科学基金项目(11175137) 湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目(Q20151517) 武汉工程大学科学研究基金项目(K201506)
【分类号】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言众所周知,金刚石具有许多优异的物理、化学性能,如极高的硬度、弹性模量、热导率、光透过率、声传播率,宽的禁带宽度,低的介电常数、摩擦系数,高的载流子迁移率、化学稳定性以及良好生物兼容性等特性[1-5]。由于天然金刚石数量少,价格昂贵,且形状一定,不能直接应用于很多

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本文编号：1049626