基于响应曲面法的溅射沉积薄膜工艺参数优化

发布时间：2018-01-28 19:54

  本文关键词： 薄膜传感器 溅射速率 响应曲面法 参数优化　出处：《工具技术》2017年07期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：为了研制出适用于高温等恶劣环境且性能优良的用于切削力测量的合金薄膜传感器,结合新型合金薄膜材料的基本性能和离子束、磁控溅射技术,研究了新型薄膜传感器的制作工艺,建立了影响薄膜溅射速率的试验分析模型,研究了氩气流量、氩气工作压强及溅射功率三个因素对薄膜溅射速率的影响,应用响应曲面法对模型进行了优化,并运用方差分析检验了该预测模型的拟合度,建立了溅射速率的等值线和响应面,从而确定了各因素的最佳水平范围,实现了工艺参数的优化。
[Abstract]:In order to develop the alloy thin film sensor which is suitable for high temperature and other harsh environment and has good performance for cutting force measurement, combined with the basic properties of the new alloy thin film material and ion beam, magnetron sputtering technology. The fabrication process of the new thin film sensor was studied, and the experimental analysis model of the film sputtering rate was established. The effects of argon flow rate, argon working pressure and sputtering power on the film sputtering rate were studied. The response surface method is used to optimize the model, and the fitting degree of the prediction model is tested by variance analysis. The isoline and response surface of sputtering rate are established, and the optimum horizontal range of each factor is determined. The process parameters are optimized.
【作者单位】： 中北大学;
【基金】：山西省国际科技合作项目(2015081018)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 1引言切削力测量系统正向微小化、高精度和高响应的方向不断发展,微型传感器的广泛使用为刀具测力系统的发展提供了新的研究领域。金属或合金薄膜测力传感器尺寸小、应变灵敏度高,能在高温、高压等恶劣环境下使用[1]。每个薄膜传感器单元各自连接成惠斯通电桥电路,根据基体受

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：1471407