国家纳米科学中心“平面打印,立体成型”微纳加工新方法研究取得重要进展

发布时间：2018-03-03 14:14

  本文选题：纳米科学中心　切入点：微加工技术　出处：《化工新型材料》2017年01期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：正表面微纳结构已经在微电子、半导体、太阳能电池、发光二极管、等离子基元、仿生材料、超材料、细胞生物学等领域得到了广泛的应用,极大地推动了表面科学与工程的进展。随着人们对各种表面新奇特性研究的深入,各种新型表面结构不断被提出。这些新型的结构,特别是复杂的多级次表面结构对微加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了许多新的挑战,目前的常规微纳加工方法已经难以满足复杂结构的加工需要。近十多年来,新型微加工
[Abstract]:Positive surface microstructures have been widely used in the fields of microelectronics, semiconductors, solar cells, light-emitting diodes, plasma primitives, biomimetic materials, metamaterials, cell biology, etc. It has greatly promoted the progress of surface science and engineering. With the further study of novel surface properties, new types of surface structures have been proposed. In particular, complex multilevel subsurface structures pose many new challenges to micromachining technologies in terms of cost, process, mass production, precision design and controllable processing. It is difficult to meet the needs of complex structures by conventional micro-nano machining methods. In the last decade, new micro-machining methods have been developed.
【作者单位】： 新型;
【分类号】：TB306

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本文编号：1561374