基于硫系玻璃的短中波红外减反膜研制

发布时间：2018-03-20 01:41

  本文选题：薄膜　切入点：硫系玻璃　出处：《中国激光》2017年09期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：以硫系玻璃为基底,根据膜系设计理论,结合软件完成了短中波红外减反膜的设计。通过对材料热应力的计算分析,研制了一种混合材料M-11作为连接层,优化了沉积工艺参数,并根据其力学特性修正膜系结构,解决了硫系玻璃的脱膜问题。光谱测试结果表明,该膜层在1.4~2.5μm和3.5~4.5μm波段透过率分别为95.8%、96.7%,满足红外成像系统的使用要求。
[Abstract]:Based on the theory of film system design and the theory of film system design, the short and medium wave infrared antireflection film is designed. Through the calculation and analysis of the thermal stress of the material, a mixed material M-11 is developed as the joining layer, and the deposition process parameters are optimized. According to its mechanical properties, the structure of the film system was modified to solve the problem of defilm removal of sulfur-based glass. The spectral test results show that the transmittance of the film is 95.8and 96.7in the band of 1.4 ~ 2.5 渭 m and 3.5 ~ 4.5 渭 m, respectively, which meets the requirements of infrared imaging system.
【作者单位】： 长春理工大学光电工程学院;
【基金】：吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX)
【分类号】：TB383.2;TQ171.7

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