Ag中间层对FePd薄膜结构及磁性能的影响

发布时间：2018-04-11 21:12

  本文选题：FePd薄膜 + 有序化转变　； 参考：《热加工工艺》2017年06期

【摘要】：采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了FePd(93 nm)单层膜和FePd(46.5 nm)/Ag(10 nm)/FePd(46.5 nm)多层膜,并在600℃退火不同时间,通过XRD、VSM对薄膜样品的结构和磁性能进行测量。结果发现:FePd单层膜在600℃退火240 min后有序化转变不明显,300 min后部分有序化,360 min后基本上完全有序化,形成了有序面心四方结构的L1_0-FePd相;当热处理时间为420 min时,有最大的面内矫顽力,约为1670 Oe;Ag中间层对溅射态的FePd薄膜衍射峰的形成有抑制作用,Ag中间层的添加可大幅缩短FePd有序化的时间;样品热处理5 min后就开始有序化,热处理15 min后样品性能即可达到最好,有最大的面内矫顽力2660 Oe,但热处理时间过长会使薄膜磁性能变差。
[Abstract]:The monolayer and FePd(46.5 nm)/Ag(10 nm)/FePd(46.5 nm)/FePd(46.5 multilayer films were prepared on quartz glass by magnetron sputtering method. The structure and magnetic properties of the films were measured by annealing at 600 鈩，

本文编号：1737692