氧化铝陶瓷金属化层温度分析研究

发布时间：2018-05-21 13:44

  本文选题：氧化铝陶瓷 + 金属化　； 参考：《真空科学与技术学报》2016年06期

【摘要】：工艺温度是影响陶瓷金属化质量的关键因素之一,针对高温氢炉中陶瓷金属化层温度难以实时测量的问题,本文建立氧化铝陶瓷金属化过程的三维流动传热数学模型。模型采用随温度变化的动态材料物性参数,考虑辐射、对流、传导三种传热形式,利用有限体积法求解陶瓷金属化过程中炉内的流动与传热问题,获得陶瓷金属化温度实时变化曲线。瞬态计算结果表明不同位置处最高烧结温度相差26℃,且比金属化工艺设定温度曲线低20~40℃,这为优化氢炉结构、进一步提高炉温均匀性提供参考依据。
[Abstract]:The process temperature is one of the key factors affecting the quality of ceramic metallization. Aiming at the problem that the temperature of the ceramic metallized layer in the high temperature hydrogen furnace is difficult to be measured in real time, a mathematical model of three-dimensional flow and heat transfer in the process of alumina ceramic metallization is established in this paper. The model adopts the dynamic material parameters with the change of temperature, considering the radiation, convection and conduction of three The finite volume method is used to solve the flow and heat transfer in the furnace in the process of ceramic metallization, and the real-time change curve of the ceramic metallization temperature is obtained. The transient calculation results show that the maximum sintering temperature in different locations is 26 degrees centigrade, and the temperature curve is lower than the metallizing process at 20~40 C. This is a further optimization of the structure of the hydrogen furnace. It provides a reference for improving the uniformity of furnace temperature.
【作者单位】： 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金】：中国工程物理研究院科学技术发展基金(2014A0302012)
【分类号】：TB306

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1919431