磁控溅射制备CrN和CrMoN涂层的微观结构和性能研究
[Abstract]:CrN and CrMoN gradient coatings were deposited on M2 tool steel and Si by using closed field unbalanced magnetron sputtering ion plating (CFUMSIP) technique. The microstructure, composition and phase structure of the films were investigated by SEM,EDS,XRD, nano-indentation instrument and friction and wear tester. Hardness and friction and wear properties. The results show that the CrMoN coating and CrN coating exhibit fcc structure, the surface of CrMoN coating is more compact than that of CrN coating, the nano-hardness and modulus of elasticity of CrMoN coating are higher than that of CrN coating, and the friction coefficient and wear rate of CrMoN coating are lower than that of CrN coating.
【作者单位】： 衢州职业技术学院机电工程学院;浙江工业大学材料科学与工程学院;
【基金】：浙江省自然科学基金资助项目(Y15E050060)
【分类号】：TB306
【参考文献】
相关期刊论文 前4条
1 楼白杨;王宇星;;Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响[J];金属学报;2016年06期
2 宋贵宏;娄茁;李锋;陈立佳;贺春林;;电弧离子镀Cr/CrN多层膜的微结构与压痕韧性（英文）[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2015年03期
3 许俊华;鞠洪博;喻利花;;Mo含量对TiMoN薄膜微观组织和摩擦磨损性能的影响[J];金属学报;2012年09期
4 余春燕;王社斌;尹小定;许并社;;CrAlN薄膜高温抗氧化性的研究[J];稀有金属材料与工程;2009年06期
【共引文献】
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1 王宇星;潘健;张侠;;磁控溅射制备CrN和CrMoN涂层的微观结构和性能研究[J];热加工工艺;2017年02期
2 刘一奇;韩克昌;林国强;石昌仑;卢国英;李晓勇;;等离子体增强电弧离子镀1Cr17Ni2不锈钢表面氮化/DLC涂层复合改性研究[J];真空科学与技术学报;2017年01期
3 吴林;;汽车半轴40Cr钢表面溅射W-Si-N涂层的力学性能和室温摩擦磨损性能[J];材料保护;2016年11期
4 许俊华;薛雅平;鞠洪博;贺盛;陈敏;郭丽萍;喻利花;;负偏压对磁控溅射制备Ru薄膜微结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J];江苏科技大学学报(自然科学版);2016年05期
5 鞠洪博;贺盛;陈彤;陈敏;郭丽萍;喻利花;许俊华;;本底真空度对磁控溅射制备Ru薄膜微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响[J];材料开发与应用;2016年04期
6 赵时璐;张震;张钧;王建明;张正贵;;多弧离子镀TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微观结构与耐磨损性能[J];金属学报;2016年06期
7 楼白杨;王宇星;;Mo含量对CrMoAlN薄膜微观结构和摩擦磨损性能的影响[J];金属学报;2016年06期
8 喻利花;孙晨;许俊华;;Cu含量对NbCN-Cu复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响[J];真空科学与技术学报;2016年04期
9 韩士萍;马辉;;TC4合金表面磁控溅射W-Al-N复合膜的摩擦磨损和高温抗氧化性能[J];材料保护;2016年04期
10 胡红霞;鞠洪博;许俊华;;碳含量对NbVCN薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响[J];真空科学与技术学报;2016年01期
【二级参考文献】
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1 齐东丽;雷浩;范迪;裴志亮;宫骏;孙超;;Mo含量对CrMoN复合涂层的组织结构和性能的影响[J];金属学报;2015年03期
2 Dongli Qi;Hao Lei;Tiegang Wang;Zhiliang Pei;Jun Gong;Chao Sun;;Mechanical,Microstructural and Tribological Properties of Reactive Magnetron Sputtered Cr-Mo-N Films[J];Journal of Materials Science & Technology;2015年01期
3 金培鹏;陈庚;韩丽;王金辉;;硼酸镁晶须增强6061铝基复合材料的干摩擦磨损行为(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2014年01期
4 许俊华;鞠洪博;喻利花;;Mo含量对TiMoN薄膜微观组织和摩擦磨损性能的影响[J];金属学报;2012年09期
5 Young Su HONG;Se Hun KWON;Tiegang WANG;Doo-In KIM;Jihwan CHOI;Kwang Ho KIM;;Effects of Cr interlayer on mechanical and tribological properties of Cr-Al-Si-N nanocomposite coating[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年S1期
6 喻利花;董师润;许俊华;李戈扬;;TaN/TiN和NbN/TiN纳米结构多层膜超硬效应及超硬机理研究[J];物理学报;2008年11期
7 喻利花;董松涛;董师润;许俊华;;AlN/Si_3N_4纳米多层膜的外延生长与力学性能[J];物理学报;2008年08期
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6 张龙;朱健;吴t，
本文编号：2357460
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