高温热生长氧化铝相变机理研究
【图文】:
图1821逡逑Figure邋1.1邋Schematic邋diagram邋of邋thermal邋growth邋of邋alumina邋film1821.逡逑2逡逑
5邋6邋6.5邋7邋7,5邋8邋8-5邋9邋9.5邋10邋10,,5逡逑reciprocal邋terrperatire邋[104/^]逡逑图1.2邋NiAl氧化的阿仑尼乌斯图1191逡逑Figure邋1.2邋Arrhenius邋plot邋of邋the邋parabolic邋rate邋constants邋kp邋of邋NiAl邋oxidation119'.逡逑类似的,G.邋C.邋Rybicki邋和邋J.邋L.邋Smialek[17]研宄邋NiAl邋(0.05at.%Zr)的氧化时逡逑(图1.3)发现e-到a-Al203的转变过程将显著影响NiAl氧化铝膜生长动力学。逡逑NiAl邋(0.05at.%Zr)氧化初期的抛物线速率常数比稳定阶段的抛物线速率常数高逡逑了两个数量级。也就意味着a-Al203的热生长速率相对于0-Al2O3的热生长速率降逡逑低了两个数量级。并且通过180同位素最终分析表明,e-Ai2o3膜的热生长是以逡逑A1阳离子向外扩散为主,而a-Al203膜的热生长是以O阴离子向内扩散为主。这逡逑些氧化铝膜形成合金在低于1200°C氧化时,氧化初期将会优先生长亚稳态氧化逡逑铝膜。亚稳态氧化铝的生长速度比a-Al203的生长速度快。亚稳态氧化铝之所以逡逑具有较高的氧化速率也是归咎于他们不同的晶体结构。Y立方晶体,0单斜晶体,逡逑5四方或正交晶体相对于01-八1203的密排六方结构,他们的堆垛较为疏松,A1离逡逑子和0离子在其中的扩散相对较为容易。不同的氧化速率也造成了氧化铝膜的逡逑不同形貌:a-Al203膜是一个致密的氧化层,而亚稳态氧化铝则倾向于形成针状逡逑结构。逡逑4逡
【学位授予单位】:中国科学技术大学
【学位级别】:博士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TQ133.1;TB383.2
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本文编号:2673791
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