热稳定DLC薄膜的设计制备及其与纳米添加剂的协同润滑机理研究
【学位授予单位】:河南大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2018
【分类号】:TB383.2
【图文】:
. B. Cai 等人[59]对 a-C/a-C:Ti 纳米多层 DLC 薄膜的显微结构、力学性能和摩擦行了研究。结果显示,a-C/a-C:Ti 多层结构 DLC 薄膜的粘附强度、硬度和弹性较于纯 a-C 碳膜都有了显著的提高,并且该多层结构 DLC 薄膜的摩擦系数明纯 DLC 薄膜的。除此之外,a-C/a-C:Ti 纳米多层 DLC 薄膜并没有像纯 DLC 薄摩擦的过程中发生了磨穿现象。掺 Ti 多层膜力学性能提高的主要原因是在 D构中存在大量的纳米微晶 TiC 和亚层界面。纳米晶 TiC 的存在有利于 DLC 薄应变场的形成。而应变场与位错的相互作用增大了位错在 DLC 薄膜内部运动多层膜中界面的存在也是影响硬度非常重要的因素,因为它们可以抑制晶粒生位错运动;同时,这些界面也是能量耗散和裂纹偏转的场所,这样可以减少裂从而产生良好的韧性。. Zhang 等人[60]研究了软硬亚层交替沉积的多层 DLC 薄膜的力学性能和摩擦学果表明,对于亚层具有相似显微结构的多层 DLC 薄膜来说,在低偏压下沉积部,高偏压控制着 sp2键向 sp3键的转变;对于相邻亚层差别较大的多层 DLC
高耐磨性以及较小内应力的优点。其硬度和残余应力依赖于 DLC 薄膜的交替层数,交替层数并没有对多层结构 DLC 薄膜的摩擦行为有显著的影响。虽然 Si-DLC/DLC碳膜的摩擦系数随着湿度的增加而增大了,但是仍然低于纯 DLC 薄膜和 Si-DLC 薄这表明,多层结构 DLC 薄膜相比于单层结构 DLC 薄膜有着更加优异的减摩性能。
图 2-2 单层掺硅 DLC 薄膜在 25℃(a-e:三维图; f: 二维图)和150℃(g-k: 三维图; l: 二维图)条件下的磨痕轮廓图图 2-2 为单层掺硅 DLC 薄膜在 25℃和 150℃的磨痕轮廓图。从图中二维轮廓图中可以明显的看到,纯 DLC 薄膜与最佳单层掺硅 DLC 薄膜相比,在 25℃下虽然其犁沟深度稍浅于单层掺硅 DLC 薄膜的,但是,其宽度明显大于单层掺硅 DLC 薄膜的;在 150℃下,其犁沟的宽度和深度都要大于单层掺硅 DLC 薄膜的。2.3.2 单层掺硅 DLC 薄膜/PAO 系统摩擦学机制分析25℃COSiCrFe0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25-300-200-100aRLateral(μm)
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本文编号:2788705
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