云母基底上AZO/Ag/AZO柔性透明电极的制备及应用研究
发布时间：2021-01-01 17:32
透明导电薄膜因其具有较低的电阻率,和较高的透过率,被广泛应用于液晶显示、太阳能电池、LED等领域。目前商业上主要使用ITO,但是它资源稀缺,因此必须寻找ITO的替代品。AZO作为替代ITO的最佳选择,但仍存在脆性大的缺点,不能满足柔性电子设备的使用与发展,在AZO中插入一层薄薄的Ag却能很好的解决这一问题,并且明显提高薄膜的导电性。生长这类柔性透明导电薄膜常选用的基底主要是聚合物基底,它们具有良好的柔性,但不耐高温、易老化。然而云母却同时具有这两个优异的性质,具有柔性,耐高温可达1000℃;且光学透过率高,所以它是一种优异的柔性透明基底。本文采用磁控溅射技术,在云母基底上沉积了AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜。研究了Ag层厚度对多层透明导电薄膜结构和性能的影响;再对Mica/AZO/Ag/AZO多层膜柔性和耐高温性能进行了研究;最后将其作为电极应用于全透明柔性场效应晶体管中。具体研究结果如下:（1）在Ag插入层厚度对薄膜综合性能的影响研究中,随着Ag层厚度的增加,Mica/AZO/Ag/AZO薄膜的电阻率单调降低,透过率呈现先降低再增加最后再降低的变化趋势,Ag层厚度为8 nm的样...
【文章来源】：西南科技大学四川省
【文章页数】：65 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
主要的TCO薄膜材料Fig.1-1TCOfilmmaterials
图 1-2 热处理条件对 ITO/Ag/ITO 薄膜性能的影响[37] Effect of annealing conditions on the properties of ITO/Ag/IT近，Cho 等人[39]利用磁控溅射技术在 PES 基底上制备了 AZO明导电薄膜，当 Ag 层厚度为 9 nm 时，获得最佳性能，电阻cm，在 550 nm 处获得最大透过率为 88%。Kim 等人[40]也研O/Ag/AZO 多层电极性能的影响，他们通过射频磁控溅射技制备了多层柔性透明电极，研究了 Ag 层厚度对电极综合性能明当薄膜厚度为 36/19/36 nm 时薄膜质量最佳，即使在 1000 薄膜电阻率无明显变化。Sahu 等人[41]利用电子束蒸发法在了 AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜，研究了热处理对多层果显示 AZO/Ag（11 nm）/AZO 多层透明导电薄膜在 400 的方块电阻从 7.7 Ω/□降至 5.3 Ω/□，并且透过率也有略微提etal/TCO 结构的多层透明导电薄膜在电阻率与柔性方面，虽破，但是不耐高温，因此还需要继续深入研究。
图 1-2 热处理条件对 ITO/Ag/ITO 薄膜性能的影响[37]Fig.1-2 Effect of annealing conditions on the properties of ITO/Ag/ITO films[37]最近，Cho 等人[39]利用磁控溅射技术在 PES 基底上制备了 AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜，当 Ag 层厚度为 9 nm 时，获得最佳性能，电阻率约为 5×10-5Ωcm，在 550 nm 处获得最大透过率为 88%。Kim 等人[40]也研究了 Ag层对 AZO/Ag/AZO 多层电极性能的影响，他们通过射频磁控溅射技术在 PET基底上制备了多层柔性透明电极，研究了 Ag 层厚度对电极综合性能的影响，结果表明当薄膜厚度为 36/19/36 nm 时薄膜质量最佳，即使在 1000 次弯曲循环后，薄膜电阻率无明显变化。Sahu 等人[41]利用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备了 AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜，研究了热处理对多层膜性能的影响，结果显示 AZO/Ag（11 nm）/AZO 多层透明导电薄膜在 400 ℃热处理后薄膜的方块电阻从 7.7 Ω/□降至 5.3 Ω/□，并且透过率也有略微提高。对于TCO/metal/TCO 结构的多层透明导电薄膜在电阻率与柔性方面，虽然做出了一些突破，但是不耐高温，因此还需要继续深入研究。
本文编号：2951703
【文章来源】：西南科技大学四川省
【文章页数】：65 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
主要的TCO薄膜材料Fig.1-1TCOfilmmaterials
图 1-2 热处理条件对 ITO/Ag/ITO 薄膜性能的影响[37] Effect of annealing conditions on the properties of ITO/Ag/IT近，Cho 等人[39]利用磁控溅射技术在 PES 基底上制备了 AZO明导电薄膜，当 Ag 层厚度为 9 nm 时，获得最佳性能，电阻cm，在 550 nm 处获得最大透过率为 88%。Kim 等人[40]也研O/Ag/AZO 多层电极性能的影响，他们通过射频磁控溅射技制备了多层柔性透明电极，研究了 Ag 层厚度对电极综合性能明当薄膜厚度为 36/19/36 nm 时薄膜质量最佳，即使在 1000 薄膜电阻率无明显变化。Sahu 等人[41]利用电子束蒸发法在了 AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜，研究了热处理对多层果显示 AZO/Ag（11 nm）/AZO 多层透明导电薄膜在 400 的方块电阻从 7.7 Ω/□降至 5.3 Ω/□，并且透过率也有略微提etal/TCO 结构的多层透明导电薄膜在电阻率与柔性方面，虽破，但是不耐高温，因此还需要继续深入研究。
图 1-2 热处理条件对 ITO/Ag/ITO 薄膜性能的影响[37]Fig.1-2 Effect of annealing conditions on the properties of ITO/Ag/ITO films[37]最近，Cho 等人[39]利用磁控溅射技术在 PES 基底上制备了 AZO/Ag/AZO多层透明导电薄膜，当 Ag 层厚度为 9 nm 时，获得最佳性能，电阻率约为 5×10-5Ωcm，在 550 nm 处获得最大透过率为 88%。Kim 等人[40]也研究了 Ag层对 AZO/Ag/AZO 多层电极性能的影响，他们通过射频磁控溅射技术在 PET基底上制备了多层柔性透明电极，研究了 Ag 层厚度对电极综合性能的影响，结果表明当薄膜厚度为 36/19/36 nm 时薄膜质量最佳，即使在 1000 次弯曲循环后，薄膜电阻率无明显变化。Sahu 等人[41]利用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备了 AZO/Ag/AZO 多层透明导电薄膜，研究了热处理对多层膜性能的影响，结果显示 AZO/Ag（11 nm）/AZO 多层透明导电薄膜在 400 ℃热处理后薄膜的方块电阻从 7.7 Ω/□降至 5.3 Ω/□，并且透过率也有略微提高。对于TCO/metal/TCO 结构的多层透明导电薄膜在电阻率与柔性方面，虽然做出了一些突破，但是不耐高温，因此还需要继续深入研究。
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