溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜

发布时间：2021-01-11 00:43

　　采用溶胶-凝胶法制备了掺杂摩尔分数为5%～20%的Al掺杂ZnO（AZO）高电阻薄膜,采用正方形电阻法表征了薄膜的方块电阻,采用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜形貌进行了表征,采用Nano Measurer 1.2软件测量了薄膜晶粒的平均粒径,采用分光光度计表征了薄膜的光谱透过率。当Al掺杂摩尔分数为5%～20%时,方块电阻在2～405 MΩ/之间逐渐增大,晶粒尺寸在24.35～17.53nm之间逐渐减小,可见光透过率可达80%左右。制备了不同Al掺杂摩尔分数的AZO高电阻层的模式控制型液晶透镜并研究了其光学干涉特性,掺杂摩尔分数在10%～15%之间,AZO薄膜可满足液晶透镜对薄膜透明度和方块电阻的要求。 

【文章来源】：液晶与显示. 2020,35(10)北大核心

【文章页数】：6 页

【部分图文】：

模式控制型液晶透镜结构图

液晶透镜干涉特性测试装置如图2所示，波长为520nm的平行光，经过起偏器（与液晶透镜摩擦方向成45°）、液晶透镜、检偏器（与起偏器正交）后形成的干涉图像由500万像素的CMOS图像传感器采集获得。3 结果与讨论

在玻璃基板上制备了7种不同摩尔分数（5%,7.5%,10%12.5%,15%,17.5%,20%）的AZO高电阻薄膜，薄膜样品如图3所示。图4所示为7种样品的扫描电镜图。从图中可以看出，薄膜表面均匀平整，无明显断层缺陷，随着Al掺杂摩尔分数的增加，薄膜粒径变小，用软件Nano Measurer 1.2计算得出5%～20%Al掺杂的薄膜粒径约为24.35～17.53nm，不同Al掺杂的薄膜粒径如表1所示。这一结果与文献[14]报导结果基本一致。图4 7种不同Al摩尔分数的AZO高阻膜样品扫描电镜图。（a)5%;(b)7.5%;(c)10%;(d)12.5%;(e)15%;(f)17.5%;(g)20%。

【参考文献】：
期刊论文
[1]快速响应模式电极pi-cell液晶透镜的研究[J]. 肖奇,于涛,章波,王伟郅,巩伟兴,张嘉伦.  液晶与显示. 2019(08)
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[3]丙烯酸酯改性水性聚氨酯/纳米二氧化硅复合材料的制备和性能[J]. 陈广美,汪志坤,吴立霞,黄毅萍.  应用化学. 2019(05)
[4]锂离子电池负极材料碳氮包覆钛酸锂的制备及表征[J]. 万露,付争兵.  应用化学. 2018(01)
[5]模式液晶透镜的制备与光学成像特性研究[J]. 李东平,匡文剑,李青.  光电子技术. 2014(04)
[6]Al浓度对AZO紫外探测器性能的影响[J]. 王培利,邓宏,韦敏,李燕.  半导体光电. 2008(05)

硕士论文
[1]Sol-Gel法制备ZnO：Al透明导电膜及其光电性能研究[D]. 张锋.哈尔滨工业大学 2009



本文编号：2969731