质子辐照对二硫化钼薄膜结构和摩擦学性能影响

发布时间：2021-09-11 21:23

　　磁控溅射MoS₂薄膜被广泛应用于空间飞行器活动部件,但目前关于低能质子辐照对磁控溅射MoS₂薄膜微观组织结构的影响机制的研究相对较少。本文分别借助扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、X射线光电子能谱仪（XPS）、透射电子显微镜（TEM）等多种手段对低能质子辐照后磁控溅射MoS₂薄膜的微观组织结构进行分析;利用轮廓仪和销盘式摩擦磨损试验机对辐照前后薄膜的粗糙度以及摩擦磨损性能进行测试。研究结果表明,经质子辐照后,磁控溅射MoS₂薄膜内会产大量的缺陷,随着辐照注量的增大MoS₂薄膜内晶体结构的有序化程度逐渐降低,产生大量空位和位移等缺陷,而这些缺陷在辐照作用下倾向于发生团聚,使晶格发生畸变发生层片卷曲收缩形成的纳米微球;同时,质子辐照除了对MoS₂薄膜内部的组织结构产生较大的影响以外,同时也会产生较强的溅射作用,随着辐照注量的增大溅射程度也略有增大,使得辐照前后MoS₂表面粗糙度产生较大变化。经质子辐照后,摩擦学性能出现了规... 

【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校

【文章页数】：64 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

不同晶体结构MoS2的示意图

MoS2晶体的滑移面

富勒烯结构MoS2生长机理示意图

【参考文献】：
期刊论文
[1]CVD法单层MoS2在209Bi离子辐照下的损伤效应研究[J]. 吴杨,孙友梅,刘杰,翟鹏飞,郭航,姚会军,刘建德,罗捷.  原子核物理评论. 2018(01)
[2]水热法合成二硫化钼花状微球及其电容性能研究[J]. 李方,高玉伟,张志毅,刘亚青,赵东林,白利忠.  功能材料. 2017(03)
[3]负载型镍对不同形貌纳米二硫化钼制备的影响研究[J]. 伍鑫,韩阳,杨云鹏.  世界有色金属. 2016(14)
[4]类石墨烯二硫化钼结构演变行为研究[J]. 蔡聪聪,黄仲佳,刘明朗,王刚,段园培.  人工晶体学报. 2015(09)
[5]纳米结构二硫化钼的制备及其应用[J]. 翟英娇,李金华,楚学影,徐铭泽,李雪,方铉,魏志鹏,王晓华.  无机材料学报. 2015(09)
[6]Au的金属颗粒对二硫化钼发光增强[J]. 魏晓旭,程英,霍达,张宇涵,王军转,胡勇,施毅.  物理学报. 2014(21)
[7]不锈钢低温渗氮/渗碳S相渗层技术的研究进展[J]. 孙金全,崔洪芝,赫庆坤,刘赞,陶鹏,阎璐.  热处理技术与装备. 2013(06)
[8]二硫化钼中空微球的制备、表征以及光催化性能(英文)[J]. 杨依萍,李卓民,杨玉超,邓文礼.  无机化学学报. 2012(07)
[9]富勒烯结构二硫化钼研究现状[J]. 高宾.  中国钨业. 2011(02)
[10]高能电子辐照对二硫化钼填充酚酞聚芳醚酮复合材料摩擦磨损性能影响的研究[J]. 田农,王鸿灵,冯治中,阎逢元.  电子显微学报. 2003(06)

博士论文
[1]2Cr13钢渗氮层在真空干滑动与脂润滑条件下摩擦学行为[D]. 杨剑群.哈尔滨工业大学 2010



本文编号：3393744