氮化钼基薄膜的制备及其在宽温域环境下的摩擦学性能研究

发布时间：2022-08-10 16:00

　　随着我国经济建设的进一步发展,带动航空航天领域等高新技术产业的迅猛发展,对高温、变温等苛刻环境下的零部件提出了更高的要求,研制适用于宽温域环境下具有低摩擦系数和低磨损率的高温固体润滑材料迫在眉睫。本论文基于多润滑相复配和薄膜表面原位自生润滑相的协同机理,制备出具有宽温域润滑功能的新型固体润滑薄膜。研究了不同润滑相的复配对固体润滑薄膜的组织及宽温域摩擦磨损性能的影响,阐明了宽温域条件下不同润滑相的磨损机理。利用磁控溅射技术在N₂气氛中沉积了三类MoN基薄膜,并对不同薄膜的化学成分、显微结构、硬度和弹性模量进行了测试分析。利用高温摩擦磨损试验机测试了薄膜的宽温域摩擦磨损性能。通过对摩擦试验后的磨痕进行更深入的分析表征,研究了不同温度环境下薄膜的摩擦学机理。基于MoN和VN高温氧化生成的MoO₃和V₂O₅易剪切相,制备出了MoVN复合薄膜。通过改变V靶电流,调控薄膜中Mo和V原子的百分比含量,研究了不同MoVN复合薄膜的显微结构、硬度、弹性模量及摩擦学性能。结果表明,二元氮化物薄膜（MoN和VN）具有较差... 

【文章页数】：78 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

MoVN薄膜的表面和横截面显微图：(a,f)MoN,(b,g)Mo67V4N29,(c,h)Mo52V22N26,(d,i)

MoVN薄膜的表面粗糙度:(a)MoN,(b)Mo67V4N29,(c)Mo52V22N26,(d)Mo49V26N25和(e)VN.

MoVN薄膜的硬度和弹性模量图(a)、H/E和H3/E2比值图(b)

【参考文献】：
期刊论文
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[2]含银硬质涂层高温摩擦学性能的研究进展[J]. 何鹏飞,王海斗,马国政,雍青松,陈书赢,徐滨士.  中国有色金属学报. 2015(11)
[3]宽温域连续润滑材料的研究进展[J]. 刘二勇,贾均红,高义民,曾志翔,乌学东.  中国表面工程. 2015(04)
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[5]高温固体润滑研究的现状及发展趋势[J]. 薛群基,吕晋军.  摩擦学学报. 1999(01)

博士论文
[1]自润滑氮化钒基复合涂层制备及宽温域摩擦磨损特性研究[D]. 慕永涛.哈尔滨工业大学 2017

硕士论文
[1]TiALCN/AgVN自适应涂层制备及摩擦学性能研究[D]. 仇月东.东南大学 2015



本文编号：3673931