Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响

发布时间：2022-08-23 17:44

　　采用多弧离子镀膜设备制备了掺杂Cu的AlN/TiN-Cu纳米复合多层膜,利用FESEM、HRTEM和XRD分别表征了薄膜的微观结构和相组成,用压入法和划痕法确定了薄膜的硬度和膜/基结合力,研究了Cu对AlN/TiN-Cu复合多层膜微观结构和力学性能的影响。结果表明,Cu的掺杂对薄膜的微观结构有较大的影响。薄膜的平均晶粒尺寸随Cu含量的增加而逐渐减小。掺入少量Cu后,薄膜的硬度均有提高,但不同种类的薄膜有不同的临界载荷变化趋势,纳米复合单层薄膜的临界载荷有所增大,而纳米复合多层膜的临界载荷反而有所减小。 

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【参考文献】：
期刊论文
[1]超硬纳微米PVD涂层技术在刀具领域的应用及研究进展[J]. 张而耕,朱州,张体波.  表面技术. 2015(04)
[2]超硬刀具材料的研究现状及应用[J]. 张慧萍,唐文明,常震,张玉华,王崇勋.  航空制造技术. 2015(06)
[3]应力对薄膜结构与性能影响的研究现状[J]. 冉春华,金义栋,祝闻,聂朝胤.  材料导报. 2013(05)
[4]Hall-Petch关系的理论推导及其适用范围讨论[J]. 邹章雄,项金钟,许思勇.  物理测试. 2012(06)
[5]分离靶电弧离子镀制备TiN/TiAlN多层薄膜的微观结构和力学性能（英文）[J]. 魏永强,李春伟,巩春志,田修波,杨士勤.  Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2011(05)
[6]TiAlN硬质涂层的研究进展[J]. 王均涛,刘平,李伟,郑康培.  热加工工艺. 2010(20)
[7]TiN/SiO2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应[J]. 魏仑,梅芳华,邵楠,李戈扬,李建国.  物理学报. 2005(04)

硕士论文
[1]划痕法评价氮化钛薄膜结合力研究[D]. 江范清.西南交通大学 2012
[2]多弧离子镀制备Ti1-xAlxN薄膜的工艺及其性能研究[D]. 金犁.武汉科技大学 2006



本文编号：3678208