柔性ZnO/PI/PET复合薄膜的制备工艺及其阻隔性能研究
发布时间:2022-09-28 14:53
目的解决物理溅射沉积法制备的无机氧化物类高阻隔包装材料柔韧性不足,使用过程中易脆裂的问题。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以氧化锌(ZnO)、聚酰亚胺(PI)为靶材,在PET塑料表面同时沉积制备ZnO/PI/PET复合薄膜。详细分析PI的引入对ZnO阻隔层微观结构以及性能的影响,优化ZnO/PI/PET的溅射制备工艺。结果沉积层微观形貌及包装性能受溅射功率密度比(PZnO/PPI)的影响较大。随着PZnO/PPI的降低,沉积层PI含量增加,阻隔层纳米颗粒由燕麦形状向球形转变,球径呈降低趋势。沉积层柔韧性提升明显,经过100次折叠后,没有明显裂纹产生(PZnO/PPI≤2)。在PZnO/PPI为2,氩气流量为40 mL/min,沉积时间为30 min,工作气压为0.5 Pa的条件下,ZnO/PI/PET复合阻隔薄膜对水蒸气、氧气的阻隔能力最为理想,水蒸气透过率为0.342g/(m~2?d),氧气透过率为0.365mL/(m~2?d)。结论适量PI片段的引入可以有效提升无机氧化物阻隔层的柔韧性及耐折叠能力,还可进一步提升复合沉积膜对水蒸气、氧气等气体小分子的阻隔能力。
【文章页数】:9 页
【文章目录】:
1 实验
1.1 材料与仪器
1.2 Zn O/PI/PET复合薄膜的制备
1.3 柔韧性测试
2 结果与分析
2.1 双靶材功率密度比对薄膜组分的影响
2.2 双靶材功率密度比对薄膜结晶的影响
2.3 双靶材功率密度比对薄膜微观形貌的影响
2.4 双靶材功率密度比对薄膜阻隔能力的影响
2.5 氩气流量对薄膜阻隔能力的影响
2.6 沉积时间对薄膜阻隔能力的影响
2.7 柔韧性的测试
3 结语
【参考文献】:
期刊论文
[1]ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究[J]. 王超楠,黄保进,鲁听,罗笙芸,任达森,江志明,杨林. 包装工程. 2018(15)
[2]外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究[J]. 陈明,周细应,毛秀娟,邵佳佳,杨国良. 物理学报. 2014(09)
[3]Properties of Aluminum Oxide (AlOx) Barrier Coatings Deposited on Poly(Ethylene Terephthalate)(PET)Substrates by Reactive Magnetron Sputtering[J]. Liu Zhuang1,2,Ma Xinxin1,Sun Zhihui2,Xu Fangjun1 1 Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China 2 Harbin University of Commerce,Harbin 150028,China. 稀有金属材料与工程. 2012(S1)
[4]气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响[J]. 孙智慧,智慧,刘壮,林晶. 包装工程. 2009(12)
[5]射频磁控溅射SiO2薄膜的制备与性能研究[J]. 金桂,周继承. 武汉理工大学学报. 2006(08)
本文编号:3681866
【文章页数】:9 页
【文章目录】:
1 实验
1.1 材料与仪器
1.2 Zn O/PI/PET复合薄膜的制备
1.3 柔韧性测试
2 结果与分析
2.1 双靶材功率密度比对薄膜组分的影响
2.2 双靶材功率密度比对薄膜结晶的影响
2.3 双靶材功率密度比对薄膜微观形貌的影响
2.4 双靶材功率密度比对薄膜阻隔能力的影响
2.5 氩气流量对薄膜阻隔能力的影响
2.6 沉积时间对薄膜阻隔能力的影响
2.7 柔韧性的测试
3 结语
【参考文献】:
期刊论文
[1]ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究[J]. 王超楠,黄保进,鲁听,罗笙芸,任达森,江志明,杨林. 包装工程. 2018(15)
[2]外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究[J]. 陈明,周细应,毛秀娟,邵佳佳,杨国良. 物理学报. 2014(09)
[3]Properties of Aluminum Oxide (AlOx) Barrier Coatings Deposited on Poly(Ethylene Terephthalate)(PET)Substrates by Reactive Magnetron Sputtering[J]. Liu Zhuang1,2,Ma Xinxin1,Sun Zhihui2,Xu Fangjun1 1 Harbin Institute of Technology,Harbin 150001,China 2 Harbin University of Commerce,Harbin 150028,China. 稀有金属材料与工程. 2012(S1)
[4]气体流量对反应磁控溅射氧化铝/PET薄膜阻隔性能的影响[J]. 孙智慧,智慧,刘壮,林晶. 包装工程. 2009(12)
[5]射频磁控溅射SiO2薄膜的制备与性能研究[J]. 金桂,周继承. 武汉理工大学学报. 2006(08)
本文编号:3681866
本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/cailiaohuaxuelunwen/3681866.html