磁控溅射SiC/Al复合薄膜的微观结构和力学性能

发布时间：2023-04-05 04:52

　　通过磁控溅射法制备了不同含量SiC的铝基复合薄膜。采用XRD、SEM、TEM和纳米探针分析了薄膜的微观结构和力学性能。结果表明:SiC以纳米级别的粒子态弥散分布于Al基体甚至以原子或者分子的状态固溶于Al的晶体中。薄膜的硬度在仅含0.78at%SiC时就可达到3GPa,约为纯Al薄膜的两倍。随SiC含量的提高,复合薄膜的硬度逐步提高,在SiC含量为8.84 at%时,复合薄膜的硬度达到5.6 GPa后,随SiC含量的进一步提高,该薄膜结构非晶化,硬度逐步降低。

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【文章目录】：
1 试验过程
2 试验结果与讨论
    2.1 复合薄膜的制备参数和成分
    2.2 复合薄膜的微观结构
    2.3 复合薄膜的硬度
3 结论



本文编号：3782767