Al 2 O 3 膜层制备参数对SiO 2 /Al 2 O 3 /PET复合膜透湿性能的影响

发布时间：2023-05-12 18:54

　　采用磁控溅射工艺在PET衬底上依次沉积了Al₂O₃和SiO₂薄膜,制备出SiO₂/Al₂O₃/PET复合膜。利用扫描电镜和透湿仪对复合膜的表面形貌和透湿性能进行表征。研究了制备Al₂O₃膜层的射频功率、氩气流量、本底真空度和溅射时间4个参数对复合膜透湿率的影响。结果表明:复合膜的透湿率随着本底真空度的升高而减小,随着射频功率、氩气流量和溅射时间的增加均呈现先减小后增大的变化趋势;4个制备参数对复合膜透湿率的影响程度由大到小依次是本底真空度、氩气流量、射频功率、溅射时间;4个制备参数的较优组合为本地真空度0.5×10^-3Pa,射频功率300 W,溅射时间6 min,氩气流量70 m L·min^-1。

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【文章目录】：
1 引言
2 实验
3 结果与讨论
    3.1 Al2O3制备参数对Si O2/Al2O3/PET复合膜透湿率的影响
        3.1.1 射频功率的影响
        3.1.2 氩气流量
        3.1.3 本底真空度
        3.1.4 溅射时间
    3.2 Al2O3制备参数的优化
4 结论



本文编号：3814439