蓬勃发展的微纳米加工前沿技术——激光微纳制备

发布时间：2017-06-12 07:01

  本文关键词：蓬勃发展的微纳米加工前沿技术——激光微纳制备，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：正微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能结构的微纳米化不仅意味着能源与原材料的节省,而且带来多功能的高度集成和生产成本的大大降低.实现材料微纳结构化的基础是先进的微纳米加工技术,从晶体管到集成电路,从微电子到微机械与微流体,从微米技术到纳米技术,微纳米加工技术获得
【作者单位】： 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室;
【关键词】： 微纳米;微米技术;前沿技术;纳米技术;加工技术;材料性能;微流体;微机械;功能材料;尺度结构;
【分类号】：TB383.1;TN249
【正文快照】： 微纳结构化材料是指在功能材料中引入微纳米尺度结构,以提升功能材料性能和拓展其新功能.功能结构的微纳米化不仅意味着能源与原材料的节省,而且带来多功能的高度集成和生产成本的大大降低.实现材料微纳结构化的基础是先进的微纳米加工技术,从晶体管到集成电路,从微电子到微机

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本文编号：443459