白色光阻材料在OGS工艺中的应用

发布时间：2017-08-06 22:19

  本文关键词：白色光阻材料在OGS工艺中的应用

  更多相关文章： 白色光阻 色度 耐化性 光密度

【摘要】：分析了白色光阻材料在不同温度、不同厚度和不同化学品浸泡下色度值、分辨率和附着力的变化情况。验证了白色光阻材料在OGS(One glass solution)触摸屏生产中的工艺条件。首先,关注白色光阻材料的光密度值(OD值)、分辨率、耐化性、耐高温性能以及在不同厚度下白色光阻材料的色度变化。然后对白色光阻材料和触摸屏制作工艺进行工艺整合,提出了采用白色光阻加黑矩阵的双层结构,可以保证白色光阻材料的OD值,防止后面的金属线被透视出来,其中白色光阻的厚度控制在15μm,黑矩阵的厚度在1.2μm。在后续的Photo工艺时,调整工艺参数,加大了PR的厚度并加大曝光显影时间,成功解决了这种高段差造成的金属线Open和Remain问题,并采用OGS工艺制作了白色光阻触摸屏样品。
【作者单位】： 京东方科技集团股份有限公司技术研发中心;
【关键词】： 白色光阻 色度 耐化性 光密度
【基金】：京东方科技集团股份有限公司研发火种基金项目(No.FR25)~~
【分类号】：TB34
【正文快照】： 1引言人们对于手机外观的美观度要求越来越高,白色外观的手机受到了更多青睐,现有的白色外观的手机触摸屏面板多是采用白色油墨丝网印刷工艺涂覆的,但OGS(One glass solution)[1-2]现有的生产线一般都是采用PHOTO制成定制的生产设备,如果想生产白色外观的手机还需要单独购买丝

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 ;台湾研制出新颖电子束光阻材料[J];硅酸盐通报;2010年03期

，

本文编号：631710