聚焦离子束加工中的缺陷及成因

发布时间：2017-08-10 11:28

  本文关键词：聚焦离子束加工中的缺陷及成因

  更多相关文章： 聚焦离子束 加工缺陷 倾斜侧壁 窗帘结构 沟道效应

【摘要】：聚焦离子束技术作为一种直接加工微纳米结构的工具,在很多领域有着重要的应用。但在实际应用中,它并不能总是如人所愿,加工出的结构有时会产生缺陷。如在切割截面时会形成倾斜侧壁、窗帘结构;在刻蚀平面结构时形成非均匀的底面;在利用气体注入系统诱导沉积生长结构后残留污染物等。本文将剖析聚焦离子束加工中这些常见缺陷产生的根源,探讨减轻或消除这些缺陷的方法。
【作者单位】： 北京大学量子材料科学中心;
【关键词】： 聚焦离子束 加工缺陷 倾斜侧壁 窗帘结构 沟道效应
【分类号】：TB383.1
【正文快照】： 聚焦离子束(FIB)是近些年发展起来的一种微纳米加工技术,其基本原理与扫描电子显微镜(SEM)类似。它采用离子源发射的离子束经过加速聚焦后作为入射束,由于离子与固体相互作用可以激发二次电子和二次离子,因此FIB与SEM一样可以用于获取样品表面的形貌图像;高能量的离子与固体表

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本文编号：650465