微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究

发布时间：2017-08-30 15:48

  本文关键词：微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究

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【摘要】：AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT2000少子寿命测量仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、钝化性能进行分析。实验结果表明,LMW-PECVD制备的AlO_x薄膜沉积速度快且薄膜质量高,适用于大规模企业生产。此外,微波功率和生长温度都对AlO_x薄膜的钝化性能有着显著的影响。
【作者单位】： 东北大学机械及自动化学院;
【关键词】： 线性微波化学气相沉积 氧化铝薄膜 少子寿命 微波功率 温度
【基金】：国家自然科学基金资助项目(50704012) 辽宁省博士启动基金资助基金(20061017)
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 晶硅电池表面钝化对于制备高效稳定的太阳能电池是一个重要环节,特别是随着硅片厚度越来越薄,晶硅钝化更为重要。目前,由于氮化硅薄膜具有优异的钝化性能而被晶硅电池用作前表面钝化而广泛使用,但电池背面钝化较为复杂,人们尝试了多种钝化薄膜,如热CVD生长Si O2,化学气相生长S，

本文编号：760206