用β二酮类金属有机前驱体原子层沉积金属薄膜

发布时间：2017-09-01 04:49

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【摘要】：在现代纳米科技中,三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构,在微电子、光电子、磁存储和催化等多个领域有着广泛的应用前景。本文以β二酮类金属有机前驱体(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子层沉积(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉积贵金属(Ir、Pd、Pt)和过渡金属(Cu)。采取X射线衍射(XRD)、能谱测试(EDS)、X射线电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等手段对金属薄膜的结构、形貌进行研究。结果表明,沉积在衬底上的Ir、Pt均为金属单质而Cu和Pd中含有一定量的氧化物和硅化物,可能由于钯粒子的扩散形成硅化物和铜暴露空气中被氧化的原因。通过对这类β二酮类金属有机前驱体沉积金属薄膜过程的研究,可以发现其中的共通性,并将其拓展到其他金属薄膜的沉积。
【作者单位】： 山东科技大学材料学院;中科院嘉兴微电子仪器与设备工程中心;
【关键词】： β二酮类金属有机前驱体 原子层沉积 金属薄膜
【分类号】：TB383.2
【正文快照】： 0前言 近年来,贵金属和过渡金属由于具有某些独特和卓越的物理化学特性,如高熔点、高化学稳定性、高强度、良好的延展性、抗氧化性、耐腐蚀性、高催化活性以及良好的导电性,而广泛应用于微电子[1-3]、光学[4]、电极材料[5]、燃料电池[6-7]、气敏元件[8]和航空航天等高新技术

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本文编号：770034