高精度真空材料放气测试研究

发布时间：2017-10-01 19:03

  本文关键词：高精度真空材料放气测试研究

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【摘要】：材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10~(-9)Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10~(-12),2.90×10~(-12)和2.78×10~(-12)Pa·m~3/(s·cm~2)。针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率。测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10~(-8),10~(-11)和10-12Pa·m~3/(s·cm~2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%。结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降。
【作者单位】： 中国科学院光电研究院;北京市准分子激光工程技术研究中心;
【关键词】： 真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分
【基金】：国家科技重大专项(2012ZX02702001)
【分类号】：TB302
【正文快照】： 任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空中时就会因解溶、解吸而放气[1]。真空腔室的真空获得时间、极限真空和残余气体组分往往取决于腔室材料的放气特性[2-3]。作为材料的真空性能评价参数,材料放气率指真空中的材料在一定温度下单位时间从单位面积

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本文编号：955104