过渡区p型氢化硅氧薄膜结构和光电特性的研究

发布时间：2018-01-06 21:19

本文关键词：过渡区p型氢化硅氧薄膜结构和光电特性的研究　出处：《物理学报》2017年19期 　论文类型：期刊论文

【摘要】：采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,利用二氧化碳(CO_2)、氢气(H_2)、硅烷(SiH_4)和乙硼烷(B_2H_6)作为气源,制备出一系列p型氢化硅氧薄膜.利用拉曼光谱、傅里叶变换红外光谱和暗电导测试,研究了不同二氧化碳流量对薄膜材料结构和光电特性的影响,获得了从纳米晶相向非晶相转变的过渡区P层.研究表明:随着二氧化碳流量从0增加到1.2 cm~3·min~(-1),拉曼光谱的峰值位置从520 cm~(-1)逐渐移至480 cm~(-1).材料红外光谱表明,随着二氧化碳流量的增加,薄膜中的氧含量逐渐增加,氢键配置逐渐由硅单氢键转换为硅双氢键.P层SiO:H薄膜电导率从3S/cm降为8.3×10~(-6)S/cm.所有p型SiO:H薄膜的光学带隙(Eopt)都在1.82—2.13 eV之间变化.在不加背反射电极的条件下,利用从纳米晶相向非晶相转变的过渡区P层作为电池的窗口层,且在P层和I层之间插入一定厚度的缓冲层,制备出效率为8.27%的非晶硅薄膜电池.
[Abstract]:A series of p - type hydrogenated silicon oxide films were prepared by using carbon dioxide ( CO _ 2 ) , hydrogen ( H _ 2 ) , silane ( SiH4 ) and diborane ( B _ 2H _ 6 ) as gas source .

【作者单位】：北京交通大学发光与光信息技术教育部重点实验室;石家庄铁道大学数理系应用物理研究所;河北汉盛光电科技有限公司;
【基金】：国家自然科学基金(批准号:61575019)资助的课题~~
【分类号】：TM914.42
【正文快照】： 1引言桂基薄膜电池一般都是p-i-n结构.p层作为太阳能电池窗口层,在改进光伏电池性能上起着至关重要的作用,改善P层材料的结构和光电特性是提高硅基薄膜太阳电池的有效途径.为了使更多的阳光从p层进入本征层,减少入射光的损失,p层要求具有较宽的带隙,以降低P层的吸收系数,从

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