高效单晶硅PERC局部背表面场及接触的优化

发布时间：2018-04-24 12:32

  本文选题：背面钝化 + 局部背表面场(LBSF)　； 参考：《半导体技术》2017年11期

【摘要】：钝化发射极和背面电池(PERC)技术可有效提高电池效率,在常规p型电池的背面增加了钝化层,并形成了局部背表面场(LBSF)结构。介绍了PERC结构电池的工艺流程,分析了背场(BSF)的形成机制,主要研究了PERC的LBSF制备工艺及影响要素。通过采用激光消融后清洗方法改善了背表面形貌,平整的背表面形貌有利于BSF的形成。通过优化烧结条件,电池的填充因子得到改善。讨论了激光开槽图形对开路电压以及填充因子的影响。测试结果表明,PERC转换效率绝对值提升了0.9%,达到20.83%,填充因子达到80.7%。
[Abstract]:Passivation emitter and backside battery PERCtechnology can effectively improve the efficiency of the battery, adding a passive layer on the back of the conventional p-type battery, and forming a local back surface field LBSFs structure. This paper introduces the technological process of PERC structure battery, analyzes the formation mechanism of BSF, and mainly studies the LBSF preparation process and its influencing factors of PERC. The surface morphology of the back was improved by laser ablation and the smooth surface morphology was favorable to the formation of BSF. By optimizing the sintering conditions, the filling factor of the battery is improved. The effect of laser grooving pattern on open circuit voltage and filling factor is discussed. The test results showed that the absolute value of PERC conversion efficiency increased 0.9 to 20.83 and the filling factor reached 80.7.
【作者单位】： 光伏材料与技术国家重点实验室;英利能源(中国)有限公司;
【基金】：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2015AA050301)
【分类号】：TM914.41

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本文编号：1796602