金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究

发布时间：2018-04-27 14:27

  本文选题：金刚石线锯 + 多晶硅　； 参考：《无机材料学报》2017年09期

【摘要】：晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤。本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响。此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液。而且对两种制绒方法效果进行了对比。研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准。
[Abstract]:The manufacture technology of crystal silicon wafer is a key step in the solar cell manufacturing process. The effects of corrosion time and concentration on the structure and reflectivity of the flannel were studied on the basis of the acid-making method in industry. In addition, metal-catalyzed chemical etching method was used to make velvet, and hydrofluoric acid and silver nitrate were used as corrosion solution. In addition, the effects of the two methods are compared. The experimental conditions of the optimum flannel structure and reflectivity obtained are as follows: the concentration of hydrofluoric acid is 4.6 mol / L, the concentration of silver nitrate is 0.02 mol / L, and the reaction time is 90 min at room temperature, and the average reflectivity is 8%, which is much lower than the present production standard of polysilicon wafer.
【作者单位】： 大连理工大学材料科学与工程学院;辽宁省太阳能光伏系统重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(51574057) 中央高校基本科研业务费专项资金(DUT15QY07)~~
【分类号】：TM914.4

【参考文献】

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【共引文献】

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本文编号：1811102