直线电机驱动的H型平台递归小波模糊神经网络控制
【学位授予单位】:沈阳工业大学
【学位级别】:硕士
【学位授予年份】:2019
【分类号】:TP273;TP183;TM359.4
【图文】:
加工的工件质量,因此人们对精密运动平台的需求越来越高,全球的企业集团、高校与研究所对 H 型运动平台均展开了深入的研究。从商业市场的角度来看,LinMot、Akribis、Aerotech、ETEL、Kollmorgen、Sumitonmo及 Yokogawa 等公司均针对 H 型运动平台进行了研究与生产。LinMot 生产的精密龙门双驱平台最大速度可达到300mm/s ,最大加速度0.3G ,有效行程200mm,重复精度 1μm,定位精度 2μm。Akribis 所生产的 GHD510 大理石双驱龙门平台有效行程为510mm ,横梁轴峰值推力为 692.4N ,龙门轴峰值推力为 878N ,0.1μm 分辨率时重复精度为 ,0.5μm分辨率时重复精度为 2.5μm,1μm分辨率时重复精度为 5μm。Aerotech 科技生产的 ABG10000 龙门式空气轴承直线电机平台如图 1.1 所示,其行程范围为1000mm,定位精度 2μm,重复定位精度 0.5μm,直线度为 ,平面度为 。ETEL所生产的METIS二维平台如图1.2所示,该平台运动行程为320mm,最高转速1.2m/s,最高加速度212m/s ,位置定位精度 25nm,双向重复精度 0.4μm。
加工的工件质量,因此人们对精密运动平台的需求越来越高,全球的企业集团、高校与研究所对 H 型运动平台均展开了深入的研究。从商业市场的角度来看,LinMot、Akribis、Aerotech、ETEL、Kollmorgen、Sumitonmo及 Yokogawa 等公司均针对 H 型运动平台进行了研究与生产。LinMot 生产的精密龙门双驱平台最大速度可达到300mm/s ,最大加速度0.3G ,有效行程200mm,重复精度 1μm,定位精度 2μm。Akribis 所生产的 GHD510 大理石双驱龙门平台有效行程为510mm ,横梁轴峰值推力为 692.4N ,龙门轴峰值推力为 878N ,0.1μm 分辨率时重复精度为 ,0.5μm分辨率时重复精度为 2.5μm,1μm分辨率时重复精度为 5μm。Aerotech 科技生产的 ABG10000 龙门式空气轴承直线电机平台如图 1.1 所示,其行程范围为1000mm,定位精度 2μm,重复定位精度 0.5μm,直线度为 ,平面度为 。ETEL所生产的METIS二维平台如图1.2所示,该平台运动行程为320mm,最高转速1.2m/s,最高加速度212m/s ,位置定位精度 25nm,双向重复精度 0.4μm。
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本文编号:2740401
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