压电陶瓷电机驱动的三维微动定位平台及验证

发布时间：2017-10-23 23:36

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【摘要】：压电陶瓷电机具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性,具有体积小、结构紧凑、成本低、输出力大、响应快、精度高、无电磁干扰等特点,但存在滞后误差、垂向位移误差,行程短的问题,尤其在电极损耗后,补偿量增大,严重影响了定位精度和难以满足三维加工的工作要求。该文通过对压电陶瓷电机驱动的百毫米以上超精密加工三维结构平台的性能研究,采用宏微双驱动协调控制,实现大行程和小步距的有机结合,对微动精密工作台性能进行实验,得到了平台运行的特性曲线。结果表明该机构的动态性和稳态性能良好,实现超低速、响应快、超高分辨率、高精度的双向步进运动,可以达到亚微米至纳米量级的定位精度,满足极微细电火花加工的高精度要求,为进一步研究压电陶瓷电机在超精密运动系统的应用、提高系统的定位精度,提供科学依据。
【作者单位】： 台州职业技术学院机电工程学院;沈阳工业大学机械工程学院;
【关键词】： 压电陶瓷电机 微细加工 三维微定位 最小步进 大行程
【基金】：浙江省自然科学基金资助项目(LY14E050001) 浙江省2014年高等学校访问学者专业发展基金资助项目(FX2014173) 2013年度浙江省高职高专院校专业带头人专业领军基金资助项目(lj2013140)
【分类号】：TM32
【正文快照】： 0引言随着现代制造技术的发展,学科交叉、复合加工技术的特点日益突出,而现代的智能控制自动化制作和现代的超精密加工及纳米加工,代表了当前先进制造技术发展的重要方向。超精密加工技术是机械制造业的重要发展方向,其科学技术水平已成为衡量一个国际综合实力的重要标志。微

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 贾宝贤;赵万生;王振龙;胡富强;;微细电火花机床及其关键技术研究[J];哈尔滨工业大学学报;2006年03期

2 李圣怡,戴一帆;超精密加工技术的发展及对策[J];中国机械工程;2000年08期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 林海波;三维微细电火花加工平台的设计与实验研究[D];浙江工业大学;2009年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 疏达;赵雪松;孙际超;方敏;;基于正交试验法优化电火花线切割加工参数的研究[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2010年03期

2 孙姝,杨晓冬,曹国辉,王振龙;基于PHP技术的快速成形工艺决策系统的研究与开发[J];电加工与模具;2005年04期

3 任忠辉;宋博岩;韩荣第;刘明宇;;电火花微能脉冲电源研究现状[J];电加工与模具;2006年03期

4 张强;宋博岩;施平;;电火花加工主轴伺服系统的发展[J];电加工与模具;2006年04期

5 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[J];电加工与模具;2007年06期

6 常新山;胡晓冬;秦宝荣;;4轴精密数控电火花成形机的设计开发[J];电加工与模具;2007年06期

7 杨三强;白基成;郭永丰;邓冠群;刘少垣;毕慧;;电火花线切割锥度加工编程技术的研究[J];电加工与模具;2008年03期

8 刘志东;王振兴;李建军;程国柱;;基于复合工作液的低速运丝电火花线切割喷液极间流场研究[J];电加工与模具;2009年04期

9 赵培锋;轧刚;;基于有限元方法的磨料流加工数值模拟[J];电加工与模具;2011年03期

10 迟关心;耿雪松;王玉魁;王振龙;;微细电火花加工模糊抬刀控制系统的设计及实验研究[J];电加工与模具;2012年01期

中国重要会议论文全文数据库 前1条

1 裴景玉;邓容;胡德金;;微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 赵明利;多频率超声辅助磨削纳米氧化锆陶瓷表面/亚表面损伤机理研究[D];河南理工大学;2010年

2 马晓宇;阵列孔微细电解加工基础技术研究[D];清华大学;2010年

3 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年

4 蒋毅;微小孔电火花加工过程控制系统的研究[D];上海交通大学;2011年

5 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

6 武斌;Cercon全瓷冠——TA_2纯钛种植体基桩一体化修复实用性研究[D];四川大学;2004年

7 徐立国;自由曲面仿人研磨路径优化研究[D];吉林大学;2006年

8 蒋勇敏;基于物理规律的加工轨迹控制方法研究[D];西南交通大学;2006年

9 雷贤卿;基于误差分离的圆柱度精密测量技术研究[D];西安理工大学;2007年

10 葛英飞;SiC颗粒增强铝基复合材料超精密车削的基础研究[D];南京航空航天大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 李义辉;超声无磨料内圆抛光声学系统及抛光工艺研究[D];河南理工大学;2010年

2 易鑫;功能陶瓷精密CMP抛光工艺参数决策优化的研究[D];湘潭大学;2010年

3 严波;基于虚拟样机技术的GXBPJ-70下摆式抛光机研究[D];昆明理工大学;2009年

4 殷志波;电解喷射小尺寸加工机理分析及装备性能研究[D];西安工业大学;2011年

5 赵培锋;基于有限元方法的磨料流加工数值模拟研究[D];太原理工大学;2011年

6 赵明利;工程陶瓷超精密平板研抛技术的研究[D];河南理工大学;2007年

7 包广华;压电自适应微细电火花加工工艺研究[D];山东大学;2011年

8 钟孟辉;电火花气体放电加工间隙状态控制技术的研究[D];南昌大学;2011年

9 江一;激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究[D];南京航空航天大学;2009年

10 韩超;电火花线切割无阻脉冲电源的性能研究[D];南京航空航天大学;2010年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期

2 张卫平,陈文元,赵小林,高扬,吴校生;微小机电强链中的驱动器[J];微纳电子技术;2003年Z1期

3 明平美,胡洋洋,朱健;微细电火花加工MEMS器件技术关键分析[J];微纳电子技术;2005年04期

4 孙曦庆，谢会开，刘理天，李志坚，钱佩信;一种硅基集成微晃动马达[J];半导体学报;1995年02期

5 张宪民;应用试验模态参数修正理论模型的最佳矩阵逼近法[J];北京航空航天大学学报;1994年02期

6 童志义;光刻设备市场与技术现状[J];电子工业专用设备;2005年02期

7 赵万生,王振龙,郭东明,赵福令,朱荻,黄因慧;国外特种加工技术的最新进展[J];电加工;1999年05期

8 张兴权,周建忠,王广龙;飞秒激光在材料微加工中的应用[J];电加工与模具;2005年01期

9 吴鑫,李勇,崔晶,鲁培;三维微细电火花加工系统设计及实验研究[J];电加工与模具;2005年04期

10 唐勇军,胡富强,王振龙,赵万生;微细电火花加工技术的最新进展[J];电加工与模具;2005年S1期

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本文编号：1085989